1真空度不高
（1）真空泵溫太高，1.被抽氣體溫度過高。應讓氣體冷卻后再進入真空泵內(nèi)，2.吸入硬物使真空泵體磨損。應拆開真空泵除去硬物，對劃傷部件進行修復或更換，3.真空泵冷卻水流最不夠。應加大冷卻水流量，4.裝配不當，使轉(zhuǎn)子軸心位移，造成單面磨損。應拆開檢查并重新裝配。
（2）真空泵油有問題，1.油位過低。應加足油量到油標中心線，2.油被沾污，油質(zhì)變壞。應更換新油。3.油的牌號不符。應換規(guī)定牌號的真空泵油，4.油路不通，真空泵腔內(nèi)沒有保持適當?shù)挠土俊獧z查油路及油閥的進油量，保持油路暢通。
（3）真空泵本身漏氣：1.密封圈漏氣。應檢查所有密封部位的密封情況，更換破損的密封圈，2.氣鎮(zhèn)閥墊圈損壞：或未擰緊。應更換墊圈并擰緊氣鎮(zhèn)閥；3.排氣閥片損壞，密封不好。應更換氣閥片；4.真空泵中隔板壓入時過盈量太大，造成真空泵腔變形而漏氣。應修整真空泵腔或更換，5.由于真空泵的端面油密封不良造成漏氣。應拆開端蓋，檢查是否有雜物或不平整，并進行清洗或修理。
（4）轉(zhuǎn)簧變形或折斷及旋片動作不靈。應整修或更換彈簧變形，使轉(zhuǎn)子積旋片配合良好。
（5）進氣口的過濾網(wǎng)被堵塞。應取下過濾網(wǎng)清洗干凈，再裝上去。
（6）因加工不良或磨損造成配合間隙過大。應檢查真空泵腔、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋板之間的配合間隙，投規(guī)定的精度要求進行修復或更換。
（7）真空泵運轉(zhuǎn)中摩擦發(fā)熱.溫升太高，使真空泵油變稀，密封性變差。應通冷卻水或用電風扇降溫，同時，檢查有關(guān)部件配合間隙并按規(guī)定精度要求進行修理或更換。
2電機、真空泵運異常電機超負荷運轉(zhuǎn)、真空泵在運轉(zhuǎn)中異常雜音、噪聲、轉(zhuǎn)動困難或發(fā)生“卡死"現(xiàn)象
（1）真空泵溫太高，應讓氣體冷卻后再進入真空泵內(nèi)。
（2）彈簧變形或斷裂，使旋片受力不均勻而發(fā)出沖擊聲；應更換彈簧。
（3）裝配不當，造成單面磨損，應重新裝配。
（4）過濾網(wǎng)損壞，金屬屑、玻璃屑等落入真空泵內(nèi)，使運轉(zhuǎn)發(fā)生障礙。應拆真空泵檢查、清除碎屑，修復或更換磨損部件，并裝好過濾網(wǎng)。
（5）真空泵腔內(nèi)污染嚴重，導致零件銹蝕。應拆真空泵請洗，去除銹斑，并換油。
（6）真空泵油變成乳濁狀.粘度增大。應更換新的真空泵油。
（7）真空泵腔、軸和軸套配合過緊，緊成潤滑不良。應重新裝配并疏通和調(diào)節(jié)油路，加強潤滑。
（8）電機有故障而產(chǎn)生噪聲。應檢修電機或給軸承加上潤滑黃油。
3真空泵漏油、噴油
（1）轉(zhuǎn)軸、油窗、放油孔、油箱等部位的密封圈損壞或裝配不正確。應仔細檢查并更換玻損的密封圈，裝配螺時，用力要均勻。
（2）因前后端面不平整或端板未壓緊，造成端面漏油。應將端面修平并壓緊前后端板。
（3）進氣口壓強過高。應設法減少進氣量。
（4）箱體有漏孔。應檢查謂孔部位并堵死。
（5）油量過多產(chǎn)生噴油，應放出多余的油。
（6）排氣蓋下面的擋油網(wǎng)裝反引起噴油，應重新裝擋油網(wǎng)。
（7）突然暴露大氣引起噴油。應立即關(guān)閉低真空閥。
4真空泵起動困難
（1）真空泵已返油，用手扳動皮帶輪旋轉(zhuǎn)數(shù)周，即可起動。
（2）由于長期不運轉(zhuǎn)或停機后未放入大氣，使真空泵腔內(nèi)充滿真空泵油。用手扳動皮帶輪旋轉(zhuǎn)數(shù)周，即可起動。
（3）油溫太低，應給油加溫或讓室內(nèi)溫度保持在15度以上，也可以用手扳動皮帶輪旋轉(zhuǎn)數(shù)周，再繼續(xù)通電運轉(zhuǎn)數(shù)分鐘，即可正常工作。
（4）油已變質(zhì)，應更換新的真空泵油。
（5）電源缺相，應檢修電源。
