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更新時間：2020-06-05 09:11:06瀏覽次數(shù)：2124次
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進(jìn)口愛德華iH80干式螺桿泵維修及螺桿泵保養(yǎng)Edwards 高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照Z高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時間并提高生產(chǎn)率
進(jìn)口愛德華iH80干式螺桿泵維修及螺桿泵保養(yǎng)
岳陽郴州進(jìn)口愛德華iH80干式泵維修及螺桿泵保養(yǎng)
iH80 干式泵 愛德華iH80干式泵維修及螺桿泵保養(yǎng) 維修：（陶）
湖南瑞峰騰潤滑設(shè)備有限公司專業(yè)維修各*干式螺桿泵。
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概述
Edwards 高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照zui高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時間并提高生產(chǎn)率，
同時zui大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
應(yīng)用
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負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量進(jìn)口愛德華iH80干式螺桿泵維修及螺桿泵保養(yǎng)
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
功能和優(yōu)勢
優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無需預(yù)防性維護(hù)。
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機(jī)功率的同時zui大程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。
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萊寶真空泵油LVO100|愛德華真空泵維修|里其樂真空泵維修|貝克真空泵維修
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湖南瑞峰騰潤滑設(shè)備科技有限公司
地址：湖南省長沙市寧鄉(xiāng)縣玉潭鎮(zhèn)豪德建材城C區(qū)六街2棟48號
：+86
專線： 陶（業(yè)務(wù)）
+86
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同時zui大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
應(yīng)用
負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
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RTA
剝離/灰化
刻蝕
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RTP
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功能和優(yōu)勢
優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無需預(yù)防性維護(hù)。
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機(jī)功率的同時zui大程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。
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