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近距離蒸發(fā)鍍膜（ CSS）爐

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更新時間：2022-05-03 10:30:31瀏覽次數(shù)：244次

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產(chǎn)品簡介

OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸發(fā)管式爐，專門針對于用PVD或CSS法來制作薄膜。此款管式爐爐管直徑為11“ OD，爐管內(nèi)載樣盤可放置3“ 的圓形或2“x2“的方形基片。加熱元件為兩組紅外燈管，分別安裝在腔體的頂端和底部，其升溫速率高達(dá)20?C/S 。溫控系統(tǒng)為PID30段程序化控制，控溫精度為+/-1?C。儀器面板上帶有RS485接口，若儀表內(nèi)配有控溫軟件，就可將升溫程序和曲線導(dǎo)出

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)

真空腔體	腔體為一高純石英管尺寸： 11" OD x 10.8"ID x 9" H
真空法蘭	真空法蘭材質(zhì)為316不銹鋼制作頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進(jìn)氣口法蘭是通過兩個硅膠O型圈進(jìn)行密封，通過機(jī)械泵其腔體內(nèi)真空度可達(dá)10-2 torr，用分子泵其真空度可達(dá)到10-5 torr 兩個法蘭都可以通過手動操作進(jìn)行上下移動一個數(shù)字式真空顯示計安裝在法蘭頂部，可精確測量腔體內(nèi)真空度
混氣系統(tǒng)	可以選擇兩路的混氣系統(tǒng)于此款管式爐搭配使用（本公司生產(chǎn)多路浮子和多路質(zhì)子混氣系統(tǒng)）
加熱元件和載樣臺	由兩組IR紅外燈管進(jìn)行加熱額定功率800 W 總功率：1600W 為了減小熱輻射和達(dá)到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機(jī)構(gòu)上一個3"的基片載樣臺安裝腔體頂部緊貼頂部加熱元件上安裝有一氮化鋁基片（3"Dia x0.5mm Thick ），使其儀器使用時樣品基片上的溫度更加均勻 3"的石墨坩堝可以放在底部加熱元件上來盛裝蒸發(fā)料
熱電偶	兩個K型熱電偶分別安裝在上下法蘭上
溫控系統(tǒng)	兩個控溫系統(tǒng)都為PID30段程序化控溫可以選購PC控溫軟件，將溫度程序設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入電腦中
工作溫度	兩個加熱區(qū)域單獨工作的高溫度： <= 650ºC 兩個加熱區(qū)域大溫差: <= 350 ºC
加熱和冷卻速率	加熱速率: > 8 ºC /S 冷卻速率: > 10 ºC /S ( 600 - 100oC)
電源	208 - 240VAC, 單相, （需20A的空氣開關(guān)）
可選配件	本公司出售真空泵和水冷系統(tǒng)
質(zhì)保期	一年質(zhì)保期 (不包括爐管、密封圈和加熱元件損耗件 )
質(zhì)量認(rèn)證	CE