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上海奕卿過(guò)濾科技有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 不銹鋼多袋式過(guò)濾器,大流量袋式過(guò)濾器,多層板框過(guò)濾機(jī) |
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公司信息
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更新時(shí)間：2022-12-01 09:32:22瀏覽次數(shù)：1801
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廢氣介紹：由于半導(dǎo)體工藝對(duì)操作室清潔度要求*，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過(guò)程中揮發(fā)的各類(lèi)廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。廢氣排放也以揮發(fā)為主。這些廢氣主要可以分為四類(lèi)：酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣和有毒廢氣。
廢氣危害：半導(dǎo)體制造工藝中產(chǎn)生的廢氣如果沒(méi)有經(jīng)過(guò)很好的處理進(jìn)行排放，將造成嚴(yán)重的問(wèn)題，不僅影響人們的身體健康，惡化大氣環(huán)境，造成環(huán)境污染的公害事件等，也會(huì)成為半導(dǎo)體制造中AMC污染的重要來(lái)源。
半導(dǎo)體廢氣處理
處理方法：依據(jù)這些廢氣的特性，在處理上采用水洗、氧化/燃燒、吸附、解離、冷凝等方法，針對(duì)不同污染物，可采取以下綜合處理方法：1.一般排氣系統(tǒng) 2.酸性、堿性廢氣處理系統(tǒng) 3.有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)等。半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備
隨著工業(yè)化程度的不斷提高，VOCs的污染有進(jìn)一步擴(kuò)大的趨勢(shì)。而隨著zui近環(huán)保政策的愈加嚴(yán)厲，對(duì)有機(jī)污染廢氣的排放控制就顯得更為重要了。當(dāng)前，VOCs治理有兩類(lèi)基本技術(shù)，一類(lèi)是回收技術(shù)，治理的基本思路是對(duì)排放的VOCs進(jìn)行吸收、過(guò)濾、分離，然后進(jìn)行提純等處理，再資源化循環(huán)利用。另一類(lèi)是銷(xiāo)毀技術(shù)，處理的基本思路是通過(guò)燃燒等化學(xué)反應(yīng)，把排放的VOCs分解化合轉(zhuǎn)化為其他無(wú)毒無(wú)害的物質(zhì)。目前，這兩類(lèi)技術(shù)都得到研究和應(yīng)用。
