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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市中圖儀器股份有限公司


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WD4000晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式:何漢英/羅健查看聯(lián)系方式

更新時間:2023-05-08 19:16:10瀏覽次數(shù):244次

聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線

經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:98條

所在地區(qū):廣東深圳市

聯(lián)系人:何漢英/羅健 (市場推廣)

產(chǎn)品簡介

WD4000晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

一、產(chǎn)品簡介

  WD4000晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)可以在一個測量系統(tǒng)中自動測量Wafer厚度、表面粗糙度、微納三維形貌。使用光譜共焦技術(shù)測量晶圓厚度、TTV、BOW、 WARP等參數(shù),同時生成Mapping圖;采用白光干涉測量技術(shù)對Wafer表面進(jìn)行非接觸式掃描同時建立表面3D層析圖像,顯示2D剖面圖和3D立體彩色視圖,高效分析表面的2D、3D參數(shù)。
  WD4000晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)可廣泛應(yīng)用于Wafer制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、顯示面板、MEMS器件等超精密加工行業(yè)??蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的厚度、粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。
 

二、產(chǎn)品優(yōu)勢

1、非接觸厚度、三維維納形貌一體測量

◆ 集成厚度、測量模組和三維形貌測量模組,使用一臺機器便可完成厚度、TTV、BOW、 WARP及三維形貌的測量。
 

2、高精度厚度測量技術(shù)

◆  采用高分辨率光譜共焦對射技術(shù)對Wafer進(jìn)行高效掃描。
◆ 帶多點傳感器孔和靜電放電涂層的鋼制真空吸盤, 晶圓規(guī)格可支持至 12寸。
◆ 采用點地圖技術(shù),可編程多點自動測量。
 

3、高精度三維形貌測量技術(shù)

◆ 采用光學(xué)白光干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和高精度3D重建算法,Z向分辨力可到0.1nm;
◆ 隔振設(shè)計極大降低地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,獲得的測量重復(fù)性。
◆ 機器視覺技術(shù)檢測圖像Mark點,虛擬夾具擺正樣品,可對多點形貌進(jìn)行自動化連續(xù)測量。
 

4、大行程高速龍門結(jié)構(gòu)平臺

◆ 大行程龍門結(jié)構(gòu)(400x400 x75mm),移動速度500mm/s。
◆ 高精度花崗巖基座和橫梁,整體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、可靠。
◆ 關(guān)鍵運動機構(gòu)采用高精度直線導(dǎo)軌導(dǎo)引、AC伺服直驅(qū)電機驅(qū)動,搭配分辨率0.1μm的光柵系
統(tǒng),保證設(shè)備的高精度、高效率。
 

5、操作簡單、輕松無憂

◆ 集成XYZ三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前準(zhǔn)備工作。
◆ 雙重防撞設(shè)計,避免誤操作導(dǎo)致的物鏡與待測物因碰撞而發(fā)生的損壞情況。
◆ 電動物鏡切換讓觀察變得快速和簡單。
 

三、應(yīng)用場景

無圖晶圓厚度、翹曲度的測量

晶圓厚度、翹曲度測量結(jié)果

  通過非接觸測量,將晶圓上下面的三維形貌進(jìn)行重建,強大的測量分析軟件穩(wěn)定計算晶圓厚度、粗糙度、總體厚度變化(TTV),有效保護(hù)膜或圖案的晶片的完整性。
 

無圖晶圓粗糙度測量

多文件分析細(xì)磨片25次測量數(shù)據(jù)

細(xì)磨片25次測量數(shù)據(jù)Sa曲線圖

  Wafer減薄工序中粗磨和細(xì)磨后的硅片表面3D圖像,用表面粗糙度Sa數(shù)值大小及多次測量數(shù)值的穩(wěn)定性來反饋加工質(zhì)量。在生產(chǎn)車間強噪聲環(huán)境中測量的減薄硅片,細(xì)磨硅片粗糙度集中在5nm附近,以25次測量數(shù)據(jù)計算重復(fù)性為0.046987nm,測量穩(wěn)定性良好。
 
 

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

 

關(guān)鍵詞:傳感器 機器視覺

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