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小型快速退火爐

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更新時間：2022-08-25 14:27:22瀏覽次數(shù)：403次

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北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：79條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：于磊（銷售部經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

此款小型快速退火爐是集成儀最巧妙的結(jié)構(gòu)設(shè)計和的加熱方式與一體，使得體積和功率都大幅減小的同時，升降溫速率卻比傳統(tǒng)退火爐提升了數(shù)倍之多。它既可以通氣氛又可以抽真空，滿足了很多用戶對小樣品快速退火的工藝要求。　　應(yīng)用范圍：　　?快速熱退火(RTA);離子注入后退火　　?石墨烯等氣象沉積，碳納米管等外延生長　　?快速熱氧化(,RTO);熱氮化(RTN);　　?硅化(Silicidation);　　?

詳細(xì)介紹

　　此款小型快速退火爐是集成儀最巧妙的結(jié)構(gòu)設(shè)計和的加熱方式與一體，使得體積和功率都大幅減小的同時，升降溫速率卻比傳統(tǒng)退火爐提升了數(shù)倍之多。它既可以通氣氛又可以抽真空，滿足了很多用戶對小樣品快速退火的工藝要求。

　　應(yīng)用范圍：

　　? 快速熱退火 (RTA); 離子注入后退火

　　? 石墨烯等氣象沉積，碳納米管等外延生長

　　? 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);

　　? 硅化 (Silicidation);

　　? 擴散 (Diffusion);

　　? 離子注入后退火 (Implant Annealing);

　　? 電極合金化 (Contact Alloying);

　　? 晶向化和堅化 (Crystallization and Densification);

　　主要特點：

　　? 極速升溫20℃/S，極速降溫20℃/S;

　　? 控溫穩(wěn)定，恒溫精度≤1℃

　　? 體積小巧，使用功率只有1kw;

　　? 超高光線反射效率，無需爐膛保溫;

　　技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	mini快速退火爐
產(chǎn)品型號	RTP1000S
極限溫度	1000℃
額定溫度	1000℃
控溫精度	±1℃
升溫速率	20℃/S(900-1000℃升溫3-5℃/S)
降溫速率	隨爐冷卻75℃/min 物料臺拉出降溫800℃/min
控制方式	智能PID
加熱方式	短波紅外線加熱
加熱腔體結(jié)構(gòu)	石英管
樣品冷卻	自然冷卻或通入冷卻氣體
冷卻氣體調(diào)節(jié)	浮子流量計(100～1000ml/min)（選配）
超溫保護(hù)	溫度出現(xiàn)過高時切斷主回路
恒溫區(qū)尺寸	35mm
載料體尺寸	30*25mm
傳感器類型	K型
真空系統(tǒng)	1L/S 雙級聯(lián)真空系統(tǒng) CHY-4C（選配）
整機真空度	3Pa（選配CHY-4C真空泵）
抽氣端口尺寸	KF16
供氣口尺寸	1/4英寸雙卡套
額定功率	1.5kw
額定電壓	AC220V,50Hz
重量	15kg
配件	坩堝鉗1把，說明書1本。
外形尺寸	610x400x410（長寬高）