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PE型原子層沉積鍍膜設(shè)備

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式:于磊查看聯(lián)系方式

更新時間:2018-06-21 17:02:31瀏覽次數(shù):637次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:79條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:于磊 (銷售部經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

PE-ALD等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)是專門為特殊應(yīng)用領(lǐng)域的科學(xué)研究與工業(yè)開發(fā)用戶而設(shè)計的單片沉積系統(tǒng),系統(tǒng)電氣*符合CE標(biāo)準(zhǔn);該系統(tǒng)擴展了普通原子層沉積系統(tǒng)對前驅(qū)體源的選擇范圍、提高薄膜沉積速率和降低沉積溫度,廣泛應(yīng)用于對溫度敏感材料和柔性襯底上薄膜的沉積。

詳細(xì)介紹

一、設(shè)備概述:

PE-ALD等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)是專門為特殊應(yīng)用領(lǐng)域的科學(xué)研究與工業(yè)開發(fā)用戶而設(shè)計的單片沉積系統(tǒng),系統(tǒng)電氣*符合CE標(biāo)準(zhǔn);該系統(tǒng)擴展了普通原子層沉積系統(tǒng)對前驅(qū)體源的選擇范圍、提高薄膜沉積速率和降低沉積溫度,廣泛應(yīng)用于對溫度敏感材料和柔性襯底上薄膜的沉積。

此系統(tǒng)包含用于原子層沉積的3路前驅(qū)體源、4通道質(zhì)量流量計控制系統(tǒng)、各部件加熱器系統(tǒng)、精密控溫樣品臺系統(tǒng)等。該管式爐系統(tǒng)為熱壁反應(yīng)室工藝,它的主要優(yōu)勢是在反應(yīng)室側(cè)壁上所淀積的也都是高品質(zhì)的ALD薄膜,熱壁反應(yīng)室設(shè)備往往能阻止薄膜的早期剝離,由于從加熱的側(cè)壁脫附的反應(yīng)源流量較高,從而加速了對反應(yīng)空間的清潔。

此套設(shè)備可作為單獨的CVD、PECVD、ALD、PEALD使用。搭建等離子增強原子層沉+化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PE-ALD-CVD),用于生長各類材料。

 

二、技術(shù)指標(biāo):

1. 控制閥門動作等整套系統(tǒng)采用PLC觸摸屏控制;

2. 基片加熱溫度:室溫~1000℃,升溫速率10℃/min,控制精度±1℃,可自動左右移動實現(xiàn)快速升降溫,移動速度可調(diào)實現(xiàn)階梯鍍膜。

3. 前驅(qū)體輸運系統(tǒng):標(biāo)準(zhǔn)3路前驅(qū)體管路,可選配;

4. 前驅(qū)體預(yù)熱溫度:室溫~1000℃,控制精度±1℃;

5. 源瓶/氣體管道加熱溫度:室溫~200℃,控制精度±1℃;

6. ALD閥Swagelok快速高溫ALD閥(小可在10ms完成閥門的開啟或關(guān)閉);

7. 管內(nèi)真空<10Pa,可自動平衡管內(nèi)真空度;

8. 載氣系統(tǒng)N2或者Ar;

9. 生長模式:高速沉積模式和停留生長模式;

10. 等離子體源:300W;

11. 可選購氣液混合裝置,用于CVD系統(tǒng),可選購恒溫控制模塊;

12. 電源 50-60Hz, 220V/5Kw交流電源

 

 


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