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上海富詩特儀器設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品型號UP6040
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地上海市
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更新時間：2018-01-05 16:36:25瀏覽次數(shù)：388次
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在半導體廠內(nèi)的超純水處理系統(tǒng)是一龐大的，復雜的系統(tǒng)，并包含了許多不同的單元，而整個系統(tǒng)的功能及設(shè)計主要是為了得到*的超純水。雖然沒有任何單一的單元可以確保Z終的采水水質(zhì)，但是終端精制混床是超純水在接觸到半導體芯片前的Z后一道化學精制的處理程序，其重要性是不可忽視的。不像對化學物質(zhì)呈現(xiàn)惰性的管路及過濾材料，離子交換樹脂是帶化學性反應(yīng)的聚合物，所有的待處理水會*的通過樹脂，因此精
終端精制的設(shè)計概念：
現(xiàn)今的超純水討論的是兆分之一(ppt)不純物的范圍，在如此的嚴格的要求下，終端精制混床樹脂的設(shè)計是沒有任何彈性的。此終端精制混床樹脂的使用必須確保除去所有的不純物，例如前端制程所可能導入的再生劑化學殘余物質(zhì)等。在水力的設(shè)計上，必須確保采水周期時水流分布是均勻的，同時壓差及離子交換速率也必須是平衡的。此zui終精制的效能，必須是在可信賴的設(shè)備及可負擔的成本考量下被確保的。整個系統(tǒng)必須是精簡的、易操作及不容易故障的。大部份的超純水系統(tǒng)工程師及供貨商會考慮使用不再生型的終端精制混床樹脂來達到上述對zui后精制系統(tǒng)的要求。而AMBERJETUP6040正是*符合這些要求的zui jia選擇。在正確的不再生精制器的設(shè)計及操作下，AMBERJETUP6040樹脂可以符合成本、效能、使用壽命等的要求及zui重要的可信賴性。
工作交換容量：
與一般的離子交換樹脂應(yīng)用相比較，交換容量在超純水系統(tǒng)的終端精制混床應(yīng)用上并不是zui主要的因素，因為精制混床的入水水質(zhì)所殘余的不純物，應(yīng)該已是ppb的范圍。因此終端精制混床樹脂床的設(shè)計，是在不超過樹脂的離子交換速率范圍內(nèi)，以zui大的流量及zui少的床體接觸時間為主要的參考數(shù)據(jù)。
一般而言，精制混床的入水水質(zhì)不純物含量，雖然是相當?shù)牡?，但卻具有*的變異性(例如某周為2ppb，但次周卻為6ppb)，因此，工作交換容量的計算無法單純的以某一數(shù)據(jù)加以表示。實際的終端精制混床的使用壽命是決定在前端處理單元的良窳，而不是樹脂的交換容量。AMBERJETUP6040所使用的陽陰樹脂，是在所有類似相同用途的樹脂中，已被證實具有zui高的交換容量。在采水周期中，終端精制混床樹脂會因吸附入水中所含不同種類，如二氧化硅、硼離子、鈉離子及碳酸氫鹽之類等不易去除的離子，而逐漸飽和。除非入水的不純物瞬間出現(xiàn)非常高的濃度，其終結(jié)(指離子的泄漏)是緩慢發(fā)生的。也因此，使用單位必須仔細監(jiān)控終端精制混床的離子泄漏量變化情形，因為這個變化是非常和緩的。在具有良好的設(shè)計及操作條件下，經(jīng)驗顯示此終端精制混床樹脂的使用壽命可以超過一年以上。但如在入水離子濃度較高的條件下，樹脂將因較高的負荷而縮短其使用壽命。
Table2:TypicalPropertiesofAmberjetUP6040ComponentResins
陽樹脂H+陰樹脂OH-
含濕量，%44.0-51.054.0-60.0
總交換容量，eq/L³2.00³1.10
均一系數(shù)£1.20£1.20
H型，%含量³99-
OH型，%含量-³95.0
Cl型，%含量-£0.5
CO3型，%含量-£5.0
SO4型，%含量-£0.1[1]
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