12.0潔凈室潔凈度－塵埃粒子數測量

潔凈室潔凈度－塵埃粒子數測量{塵埃粒子計數器的選型}

簡易CLJ-3016H手持式激光粒子計數器

限于體量和重量，手持式激光粒子計數器采樣流量一般為每分鐘0.1立方英尺（0.1cfm），即每分鐘2.83升（2.83L/m），其zui小粒徑通道一般為0.3μm。通常均可采用電池或交流電工作。

這類產品粒徑通道又可分為雙通道型，由于這類產品采樣空氣量小，測量精度相對較低，但隨檢測人員移動靈便，適用于各種潔凈室的監(jiān)測，判定過濾設備的效率和密封性。這類產品可存儲一定量的采樣數據，備有下載軟件，均不帶打印裝置。

便攜式激光粒子計數器

這類產品較手持式的機構相對復雜些，測量精度較高，因而體量、重量也較大，一般用于潔凈室認證檢測，通常有小流量與大流量之分，但均為多通道，根據所測試潔凈室的級別不同對所需機型可有所選擇。這類產品多數內置打印機，也有的采取數據存儲后輸出打印方式。

用于潔凈環(huán)境實時監(jiān)控的激光粒子計數器及相關設備

為了在潔凈室運行過程中，及時了解與判定潔凈室環(huán)境，特別是一些關鍵區(qū)域或部位所處的狀態(tài)，是否依然和始終符合生產或科研所規(guī)定的技術指標，潔凈室管理者需要對其主要技術指標進行實時監(jiān)控或周期性監(jiān)測。一些別潔凈室為此對一些關鍵指標：潔凈度、溫度、濕度和惰性氣體等設置了連續(xù)巡查的裝置，以便隨時考核潔凈室的受控狀態(tài)。

遠程空氣顆粒計數儀特點：

大流量1.0cfm（28.3升/分）和0.1cfm（2.83升/分），可zui小監(jiān)控0.2μm粒徑顆粒，2個標準粒徑尺寸通道

市場上系列遠程空氣顆粒計數儀普遍性能：

◆監(jiān)控粒徑0.2μm-10μm（在此范圍可選通道）

◆可集成進入 FMS系統(tǒng)（計算機集中控制和管理的制造系統(tǒng)）

◆維護簡便和方便校驗數據輸出以太網和模擬通訊方式

◆內置流量傳感器，流量偏差時能提早報警。

另一種順序監(jiān)測系統(tǒng)則僅在潔凈室各關鍵部位設置空氣采樣口，通過氣溶膠導管將所設置的多個采樣口與配置有激光粒子計數器及計算機的順序監(jiān)測系統(tǒng)相連。由計算機控制激光粒子計數器順序與各采樣口的氣溶膠導管相通，由氣泵采入與之相通的空氣采樣口處的空氣，進行粒徑與數量的測量，并將結果錄入計算機中。