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電子級HF濃度在線分析儀

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更新時間：2022-01-20 13:05:31瀏覽次數(shù)：220次

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上海京度電子科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

E-Scan系列電子級HF濃度在線分析儀采用臨界角檢測原理，檢測不受物料的顏色，渾濁度，氣泡，固體顆粒等雜質的影響、具備高精度的自動溫度補償功能。

詳細介紹

電子級HF，屬于超凈高純試劑，是一種微電子技術發(fā)展過程中*的關鍵基礎化學試劑，主要用于硅晶片的清洗和蝕刻，可有效除去晶片上的雜質顆粒、無機殘留物和碳沉積物。電子級硫酸的純度和潔凈度對電子元件的成品率、電性能及可靠性有著重要的影響。

從純度上來講，電子級和分析純的化學品，相對于普通化學品，其純度都很高，雜質含量少，但是兩個屬于不同的標準體系，對雜質的關注點不一樣。電子級是對用于電子元器件生產(chǎn)過程中使用的化學品的一種泛指，相對于一般工業(yè)，其純度要求更高，尤其是平板顯示行業(yè)或者半導體行業(yè)。其更每種化學品更中的有害雜質含量，金屬離子，固體顆粒等等。用于半導體工業(yè)的電子級化學品純度一般比分析純的化學試劑更高，可參考SEMI相關化學品的標準。對于芯片生產(chǎn)過程來說，一般情況下，純度會在99.999%數(shù)量級，12寸芯片生產(chǎn)可能會用到99.999999999%純度的化學品。分析純是化學試劑的一個純度標準，這個系列里包括優(yōu)級純，分析純，化學純和實驗純。其中分析純干擾雜質很少，適用于工業(yè)分析及化學實驗，比如用于滴定之類的分析。

在復雜的芯片生產(chǎn)工藝中，鹽酸也是*的試劑。

電子級HF生產(chǎn)工藝技術特征

1. 雜質砷是電子級HF中需要控制的一種重要雜質指標，在HF原料中砷一般以三價態(tài)形式存在，而且AsF3與HF的沸點相差不大，所以僅靠精餾對其分離的效果不會十分理想。為去除雜質砷，可在精餾前，加入適量的強氧化劑（如等）將三價態(tài)的砷進行氧化，使其在精餾過程中沉積于塔釜中而被除去。

2. 生產(chǎn)設備與工藝：生產(chǎn)設備全采用碳鋼襯聚四氟乙烯材料，生產(chǎn)工藝采用常壓、全封閉、連續(xù)化，采用熱水低溫(小于100度)精餾.蒸餾工藝,工藝參數(shù)采用DCS集散控制系統(tǒng)生產(chǎn)。

3. 高純水制備：通過離子交換與過濾器先制得普通純水，再經(jīng)過反滲透、電滲析后進入殺菌、超微過濾制得高純水。

4. 在無水HF預處理槽邊、精餾塔及蒸餾塔邊、成品包裝區(qū)設置HF有毒氣體濃度探測、集中報警系統(tǒng)。

5. 設置尾氣吸收塔、堿吸收塔，尾氣可達標排放。

電子級HF質量指標

目前，因各微電子生產(chǎn)企業(yè)對電子級HF要求的標準不同，可將其劃分為四個檔次：①低檔產(chǎn)品，用于>1.2μmIC工藝技術的制作；②中低檔產(chǎn)品，適用于0.8～1.2μmIC工藝技術的制作；③中高檔產(chǎn)品，適用于0.2～0.6μmIC工藝技術的制作；④高檔產(chǎn)品，適用于0.09～0.2μm和＜0.09μm IC工藝技術的制作。

產(chǎn)品包裝方法：采用高密度聚乙烯（或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯）密封工藝制造塑料桶25公斤桶裝。

SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）標準化組織根據(jù)高純試劑在世界范圍內(nèi)的實際發(fā)展情況，按品種進行分類，每個品種歸并為一個指導性的標準，其中包括多個用于不同工藝技術的等級

E-Scan系列電子級HF濃度在線分析儀采用臨界角檢測原理，檢測不受物料的顏色，渾濁度，氣泡，固體顆粒等雜質的影響、具備高精度的自動溫度補償功能。采用優(yōu)秀的分體式體式，全屏蔽抗干擾設計，光電信號直接轉換處理。摒棄一體式不耐振動和高溫的影響的缺點，保障了在線測量的精度及延長儀器使用壽命。內(nèi)置光纖光路傳導系統(tǒng)，擁有優(yōu)秀的抗震性能和高穩(wěn)定性、內(nèi)置溫度傳感器和干燥劑有效監(jiān)測糖度儀的運行狀態(tài)。

E-Scan系列電子級HF濃度在線分析儀可以安裝在不同管徑的管道或者罐體容器壁上，進行濃度監(jiān)測和控制，可以直接顯示質量*（Percent)、固形物含量(S.G.)、密度(T.T.A)或用戶自定義的單位，現(xiàn)場顯示并可以模擬信號（RS232)遠傳至電腦進行即時數(shù)據(jù)存儲、打印、追溯等功能；通過4-20ma信號遠傳至plc/dcs /變頻器進行監(jiān)控或控制。

E-Scan系列電子級HF在線分析儀擁有以下特征：
●316ss材質的傳感器使其滿足化工、半導體行業(yè)的要求并且耐溫高達150℃；
●免維護、無耗材、無漂移、自診斷功能，智能報警信號輸出功能；
●防護等級：NEMA4X(IP67）；
●自動溫度補償（軟件擁有豐富的產(chǎn)品線性數(shù)據(jù)庫和溫度補償數(shù)據(jù)庫）；
●多組4-20maA模擬信號及數(shù)字信號輸出（隔離，非隔離可選）；
●3648高分辨率的CCD；
●多種報警信息輸出顯示（高低/高高/低低/偏差）；
●可循環(huán)的干燥劑，無耗材，免維護；
●光源為589nmled燈，壽命長達100000小時；
●安裝適配器標準:PTFE,Tantalum、Alloy20、teflon；
●高精度，高品質“美國制造”