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電子級HF濃度在線分析儀

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聯(lián)系方式:劉銘查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-01-20 13:05:31瀏覽次數(shù):220次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:502條

所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:劉銘 (銷售工程師)

產(chǎn)品簡介

E-Scan系列電子級HF濃度在線分析儀采用臨界角檢測原理,檢測不受物料的顏色,渾濁度,氣泡,固體顆粒等雜質的影響、具備高精度的自動溫度補償功能。

詳細介紹

電子級HF,屬于超凈高純試劑,是一種微電子技術發(fā)展過程中*的關鍵基礎化學試劑,主要用于硅晶片的清洗和蝕刻,可有效除去晶片上的雜質顆粒、無機殘留物和碳沉積物。電子級硫酸的純度和潔凈度對電子元件的成品率、電性能及可靠性有著重要的影響。

從純度上來講,電子級和分析純的化學品,相對于普通化學品,其純度都很高,雜質含量少,但是兩個屬于不同的標準體系,對雜質的關注點不一樣。 電子級是對用于電子元器件生產(chǎn)過程中使用的化學品的一種泛指,相對于一般工業(yè),其純度要求更高,尤其是平板顯示行業(yè)或者半導體行業(yè)。其更每種化學品更中的有害雜質含量,金屬離子,固體顆粒等等。用于半導體工業(yè)的電子級化學品純度一般比分析純的化學試劑更高,可參考SEMI相關化學品的標準。對于芯片生產(chǎn)過程來說,一般情況下,純度會在99.999%數(shù)量級,12寸芯片生產(chǎn)可能會用到99.999999999%純度的化學品。 分析純是化學試劑的一個純度標準,這個系列里包括 優(yōu)級純,分析純,化學純和實驗純。其中分析純干擾雜質很少,適用于工業(yè)分析及化學實驗,比如用于滴定之類的分析。

在復雜的芯片生產(chǎn)工藝中,鹽酸也是*的試劑。

 

電子級HF生產(chǎn)工藝技術特征

1. 雜質砷是電子級HF中需要控制的一種重要雜質指標,在HF原料中砷一般以三價態(tài)形式存在,而且AsF3與HF的沸點相差不大,所以僅靠精餾對其分離的效果不會十分理想。為去除雜質砷,可在精餾前,加入適量的強氧化劑(如等)將三價態(tài)的砷進行氧化,使其在精餾過程中沉積于塔釜中而被除去。

2. 生產(chǎn)設備與工藝:生產(chǎn)設備全采用碳鋼襯聚四氟乙烯材料,生產(chǎn)工藝采用常壓、全封閉、連續(xù)化,采用熱水低溫(小于100度)精餾.蒸餾工藝,工藝參數(shù)采用DCS集散控制系統(tǒng)生產(chǎn)。

3. 高純水制備:通過離子交換與過濾器先制得普通純水,再經(jīng)過反滲透、電滲析后進入殺菌、超微過濾制得高純水。

4. 在無水HF預處理槽邊、精餾塔及蒸餾塔邊、成品包裝區(qū)設置HF有毒氣體濃度探測、集中報警系統(tǒng)。

5. 設置尾氣吸收塔、堿吸收塔,尾氣可達標排放。

 

電子級HF質量指標

目前,因各微電子生產(chǎn)企業(yè)對電子級HF要求的標準不同,可將其劃分為四個檔次:①低檔產(chǎn)品,用于>1.2μmIC工藝技術的制作;②中低檔產(chǎn)品,適用于0.8~1.2μmIC工藝技術的制作;③中高檔產(chǎn)品,適用于0.2~0.6μmIC工藝技術的制作;④高檔產(chǎn)品,適用于0.09~0.2μm和<0.09μm IC工藝技術的制作。

產(chǎn)品包裝方法:采用高密度聚乙烯(或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯)密封工藝制造塑料桶25公斤桶裝。

SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)標準化組織根據(jù)高純試劑在世界范圍內(nèi)的實際發(fā)展情況,按品種進行分類,每個品種歸并為一個指導性的標準,其中包括多個用于不同工藝技術的等級

 E-Scan系列電子級HF濃度在線分析儀采用臨界角檢測原理,檢測不受物料的顏色,渾濁度,氣泡,固體顆粒等雜質的影響、具備高精度的自動溫度補償功能。采用優(yōu)秀的分體式體式,全屏蔽抗干擾設計,光電信號直接轉換處理。摒棄一體式不耐振動和高溫的影響的缺點,保障了在線測量的精度及延長儀器使用壽命。內(nèi)置光纖光路傳導系統(tǒng),擁有優(yōu)秀的抗震性能和高穩(wěn)定性、內(nèi)置溫度傳感器和干燥劑有效監(jiān)測糖度儀的運行狀態(tài)。

E-Scan系列電子級HF濃度在線分析儀可以安裝在不同管徑的管道或者罐體容器壁上,進行濃度監(jiān)測和控制,可以直接顯示質量*(Percent)、固形物含量(S.G.)、密度(T.T.A)或用戶自定義的單位,現(xiàn)場顯示并可以模擬信號(RS232)遠傳至電腦進行即時數(shù)據(jù)存儲、打印、追溯等功能;通過4-20ma信號遠傳至plc/dcs /變頻器進行監(jiān)控或控制。

E-Scan系列電子級HF在線分析儀擁有以下特征:
●316ss材質的傳感器使其滿足化工、半導體行業(yè)的要求并且耐溫高達150℃;
●免維護、無耗材、無漂移、自診斷功能,智能報警信號輸出功能;
●防護等級:NEMA4X(IP67);
●自動溫度補償(軟件擁有豐富的產(chǎn)品線性數(shù)據(jù)庫和溫度補償數(shù)據(jù)庫);
●多組4-20maA模擬信號及數(shù)字信號輸出(隔離,非隔離可選);
●3648高分辨率的CCD;
●多種報警信息輸出顯示(高低/高高/低低/偏差);
●可循環(huán)的干燥劑,無耗材,免維護;
●光源為589nmled燈,壽命長達100000小時;
●安裝適配器標準:PTFE,Tantalum、Alloy20、teflon;
●高精度,高品質“美國制造” 

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