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x-ray 鍍層測(cè)厚儀M4 TORNADO

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

?微區(qū)X射線熒光光譜分析技術(shù)是對(duì)不均勻樣品、不規(guī)則樣品、甚至小件樣品和包裹物進(jìn)行高靈敏度的、非破壞性的元素分析的*方法。采用多導(dǎo)毛細(xì)管聚焦鏡將激發(fā)光聚焦到非常小的區(qū)域，以獲得的空間分辨率，進(jìn)行快速分析。任何類型的樣品都可以通過(guò)簡(jiǎn)單的樣品制備甚至不制備直接進(jìn)行分析。

詳細(xì)介紹

儀器簡(jiǎn)介：
微區(qū)X射線熒光光譜分析技術(shù)是對(duì)不均勻樣品、不規(guī)則樣品、甚至小件樣品和包裹物進(jìn)行高靈敏度的、非破壞性的元素分析的*方法。采用多導(dǎo)毛細(xì)管聚焦鏡將激發(fā)光聚焦到非常小的區(qū)域，以獲得的空間分辨率，進(jìn)行快速分析。任何類型的樣品都可以通過(guò)簡(jiǎn)單的樣品制備甚至不制備直接進(jìn)行分析。
技術(shù)參數(shù)：
技術(shù)參數(shù)
樣品類型     固體、顆粒、液體、多層膜
樣品室尺寸 W×D×H：600×350×260mm
樣品臺(tái)尺寸   W×D：330×170mm
測(cè)量氣氛大氣/真空，在100秒內(nèi)準(zhǔn)備就緒
樣品移動(dòng)    zui大移動(dòng)范圍 W×D×H：270×240×120mm
移動(dòng)速度    渦輪增速樣品臺(tái)zui大移動(dòng)速度可達(dá)100mm/s
激發(fā)           配多導(dǎo)毛細(xì)管聚焦鏡的高強(qiáng)度X射線光管
                    選項(xiàng)：可同時(shí)使用不同靶材的雙光管
X射線光管參數(shù)
靶材       Rh，可選靶材：Mo，Ag，Cu，W
電壓       50kV,800μA
光斑大小小于30μm（對(duì)于Mo-K）
濾光片   根據(jù)用戶要求，zui多6塊濾光片
探測(cè)器   XFlash?硅漂移探測(cè)器
              選項(xiàng)：可zui多同時(shí)使用3個(gè)探測(cè)器
探測(cè)器參數(shù)
有效面積 10mm2，選項(xiàng)：30mm2
能量分辨率    計(jì)數(shù)率250,000cps時(shí)分別優(yōu)于125eV、135eV

儀器控制    *的PC機(jī)，Windows XP或Vista操作系統(tǒng)
儀器控制功能     光管參數(shù)、濾光片、光學(xué)顯微鏡、樣品照明和樣品定位的全面控制
光譜評(píng)估       譜峰識(shí)別、人工和自動(dòng)背景校正、峰面積計(jì)算、對(duì)于塊狀樣品和多層膜樣品基于標(biāo)樣和無(wú)標(biāo)樣模式的定量分析
分布分析     “飛行中"測(cè)量模式，HyperMap軟件功能
結(jié)果顯示     定量結(jié)果、統(tǒng)計(jì)計(jì)算、元素分布（線掃描、面分布）
電源要求     110-240V（1P），50/60Hz
尺寸（寬×深×高） 815×680×580mm，130kg
質(zhì)量和安全   DIN EN ISO 9001:2000認(rèn)證, CE認(rèn)證
                       *輻射防護(hù)系統(tǒng)；輻射劑量＜1μSv/h
主要特點(diǎn)：
M4 TORNADO采用了全新的技術(shù)，為各種用戶提供了*的分析性能和非常方便的操控性。
采用多導(dǎo)毛細(xì)管聚焦鏡，照射光斑zui小，空間分辨率zui高。
渦輪增速X-Y-Z樣品臺(tái)，借助放大倍數(shù)可變的攝像系統(tǒng)獲得高品質(zhì)的樣品影像，可在“飛行中"進(jìn)行元素分布分析。

高強(qiáng)度的X射線光管與多導(dǎo)毛細(xì)管聚焦鏡相結(jié)合，確保在非常小的照射區(qū)域內(nèi)獲得非常高的激發(fā)強(qiáng)度。采用濾光片和可以同時(shí)使用的配有不同靶材的雙光管，可以根據(jù)不同的分析要求，優(yōu)化激發(fā)光譜。
使用XFlash?探測(cè)器超高速地獲取樣品圖譜，另外，使用多個(gè)探測(cè)器可以進(jìn)一步提高測(cè)量速度。
采用無(wú)標(biāo)樣分析法精確定量分析塊狀樣品，精確分析多層膜樣品。

可抽真空的樣品室配有自動(dòng)門，大尺寸的樣品室可以放置各種尺寸的樣品。通過(guò)兩個(gè)放大倍數(shù)可變的攝像系統(tǒng)觀察樣品（整體觀察和分析區(qū)域的細(xì)致觀察），便捷進(jìn)樣功能和自動(dòng)對(duì)焦功能可以進(jìn)行快速而精確的定位。通過(guò)用戶編輯的X-Y-Z樣品臺(tái)運(yùn)行程序可實(shí)現(xiàn)重復(fù)測(cè)量。

關(guān)鍵詞：光學(xué)顯微鏡

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