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CM501型無(wú)塵室氣體監(jiān)視器

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更新時(shí)間：2024-04-13 18:37:56瀏覽次數(shù)：196次

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CM501型無(wú)塵室氣體監(jiān)視器

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CM501型無(wú)塵室氣體監(jiān)視器

品牌:日本橫河YOKOGAWA    型號(hào):CM501

市場(chǎng)價(jià):0元    本站價(jià):0元


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隨著大規(guī)模集成電路的發(fā)展，從無(wú)塵室中清除酸堿性氣體或顆粒等氣體污染物就成為一個(gè)很重要的課題。
在一個(gè)64-Mbit的集成電路處理中，設(shè)計(jì)要求微粒直徑為0.25mm甚至更小。
在這里用到了化學(xué)增強(qiáng)光學(xué)電阻，而這種電阻產(chǎn)生的揮發(fā)堿顆粒，如氨質(zhì)子等，會(huì)導(dǎo)致零件的失效。
于是，為了保證正常生產(chǎn)就需要將堿性顆粒的濃度保持在1mg/m3以下。

該系統(tǒng)為了能夠高敏感度測(cè)量酸堿氣體使用了擴(kuò)散吸取式采樣器。
該擴(kuò)散吸取式采樣器吸收液體中的酸堿氣體后，再將其用離子色譜進(jìn)行分析。
還有多通道型(16點(diǎn))選配件供選擇。

兩種型號(hào):CM501，主要測(cè)量堿性氣體;CM502，主要測(cè)量酸性氣體(氧化物、磷酸、SO2等)。
  • 堿性氣體的感應(yīng)密度為0.01mg/m3。
  • 酸性氣體(氧化物、磷酸、SO2等)的感應(yīng)密度同NH3。
  • 應(yīng)用了可靠的分析技術(shù)-離子色譜技術(shù)。
  • 的擴(kuò)散吸取式采樣技術(shù)將樣氣中的污染物最小化。
  • 最少的洗提液消耗量,一個(gè)月只需補(bǔ)給一次。
  • 工作站時(shí)時(shí)狀態(tài)變化可由曲線圖表來(lái)監(jiān)測(cè)。
  • 可以預(yù)測(cè)過(guò)濾器壽命。
  • 可測(cè)量最多16點(diǎn)的樣氣(可選)。
  • CM501型符合國(guó)際安全標(biāo)準(zhǔn)SEMI S2-93A & S8-95及CE標(biāo)準(zhǔn)。
型號(hào):無(wú)塵室氣體檢測(cè)器
CM501及CM502系統(tǒng)規(guī)格
測(cè)量
CM501; 堿性氣體(陽(yáng)離子分析)和酸性氣體(陰離子分析:氧化物、磷酸、SO2等)
CM502; 堿性與酸性氣體
氣體采集方法 擴(kuò)散吸取式采樣系統(tǒng)
分析方法 離子色譜
測(cè)量范圍 0～50mg/m3
檢測(cè)
范圍界限		 0.01mg/m3
測(cè)量周期 最短周期為35min、45min、60min、90min
測(cè)量點(diǎn)數(shù) 1～16點(diǎn)(可選)
校正 校正采用標(biāo)準(zhǔn)解決方案，自動(dòng)校正
外部聯(lián)系輸出 測(cè)量流跳躍信號(hào)、外部報(bào)警信號(hào)、外部報(bào)警重置信號(hào)

　 　 　 　

　

關(guān)鍵詞：監(jiān)視器

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