FT-391系列手持式四探針?lè)阶铚y(cè)試儀詳情介紹
FT-391 Series handheld four-probe resistance tester
概述Overview：
參照硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）；GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》；GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針?lè)ā?；GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針?lè)ā罚?
采集集成電路恒流源系統(tǒng)，可充電式電源系統(tǒng)，上下限設(shè)定.
功能介紹Function introduction：
手持式外型結(jié)構(gòu)，適用于車間生產(chǎn)、品管抽檢，外出攜帶測(cè)量的場(chǎng)所；也適用于中小型半導(dǎo)體材料生產(chǎn)企業(yè).
參數(shù)資料 Parameters：
| 規(guī)格型號(hào)Specification model | FT-391A | FT-391B | FT-391C |
| 1.方塊電阻范圍sheet resistance | 10～2.00×102Ω/□ | 10～2.00×103Ω/□ | 10～2.00×104Ω/□ |
| 2.電阻率范圍resistivity | 1～2×103Ω-cm | 1～2×104Ω-cm | 1～2×105Ω-cm |
| 3.分辨率resolution | 0.01Ω | 0.01Ω | 0.01Ω |
| 4.顯示讀數(shù)display | 液晶顯示：電阻率、方阻、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. |
| 5.測(cè)試方式test mode | 單電測(cè)量single electrical measurement |
| 6.工作電源working power | 5V.1000mA |
| 7. 誤差errors | ≤4.5%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果standard samples） |
| 8.選配choose to buy | 選配1.方形探頭； 選配2.直線形探頭；探針間距；選配3：探針間距1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 選配4：探針材質(zhì)：碳化鎢針;鍍金磷銅半球形針square probe; 2. linear probe; 3.Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle.gilded copper hemispherical needles. |
FT-392 Series hand-held four-probe tester
參數(shù)資料
| 規(guī)格型號(hào)specification model | FT-392A | FT-392B | FT-392C |
| 1.方塊電阻范圍sheet resistance | 0.1～2.00×102Ω/□ | 0.1～2.00×103Ω/□ | 0.1～2.00×104Ω/□ |
| 2.電阻率范圍resistivity range | 0.01～2×103Ω-cm | 0.01～2×104Ω-cm | 0.01～2×105Ω-cm |
| 3.分辨率resolution | 0.01Ω | 0.01Ω | 0.01Ω |
| 4.顯示讀數(shù)display | 液晶顯示：電阻率、方阻、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness |
| 5.測(cè)試方式test mode | 單電測(cè)量/ single electrical measurement |
| 6.工作電源working power | 5V.1000mA |
| 7. 誤差errors | ≤4.5%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果standard samples） |
| 8.選配choose to buy | 選配1.方形探頭； 選配2.直線形探頭；探針間距；選配3：探針間距1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 選配4：探針材質(zhì)：碳化鎢針;鍍金磷銅半球形針1.square probe; 2. linear probe; 3.Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle. gilded copper hemispherical needles. |
FT-393系列手持式方塊電阻測(cè)試儀
FT-393 Series of hand-held Square resistance tester
技術(shù)參數(shù)資料
| 規(guī)格型號(hào)specification model | FT-393A | FT-393B | FT-393C |
| 1.方塊電阻范圍sheet resistance | 0.01～2.00×102Ω/□ | 0.01～2.00×103Ω/□ | 0.01～2.00×104Ω/□ |
| 2.電阻率范圍resistivity range | 0.001～2×103Ω-cm | 0.001～2×104Ω-cm | 0.001～2×105Ω-cm |
| 3.分辨率resolution | 0.001Ω | 0.001Ω | 0.001Ω |
| 4.顯示讀數(shù)display | 液晶顯示：電阻率、方阻、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness |
| 5.測(cè)試方式test mode | 單電測(cè)量single electrical measurement |
| 6.工作電源working power | 5V.1000mA |
| 7.誤差errors | ≤4.5%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果standard samples） |
| 8.選配choose to buy | 選配1.方形探頭； 選配2.直線形探頭；探針間距；選配3：探針間距1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 選配4：探針材質(zhì)：碳化鎢針;鍍金磷銅半球形針1.square probe; 2. linear probe; 3.Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle. gilded copper hemispherical needles. |
FT-394系列手持式四探針電阻率測(cè)試儀
FT-394 Series hand-held four-probe resistivity tester
技術(shù)參數(shù)資料
| 規(guī)格型號(hào)model | FT-394A | FT-394B | FT-394C |
| 1.方塊電阻sheet resistance | 0.001～2.00×102Ω/□ | 0.001～2.00×103Ω/□ | 0.001～2.00×104Ω/□ |
| 2.電阻率resistivity range | 0.0001～2×103Ω-cm | 0.0001～2×104Ω-cm | 0.0001～2×105Ω-cm |
| 3.分辨率resolution | 0.001Ω | 0.001Ω | 0.001Ω |
| 4.顯示讀數(shù)display | 液晶顯示：電阻率、方阻、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness |
| 5.測(cè)試方式test mode | 單電測(cè)量single electrical measurement |
| 6.工作電源working power | 5V.1000mA |
| 7.誤差machine uncertain errors | ≤4.5%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果standard samples） |
| 8.選配choose to buy | 選配1.方形探頭； 選配2.直線形探頭；探針間距；選配3：探針間距1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 選配4：探針材質(zhì)：碳化鎢針;鍍金磷銅半球形針1.square probe; 2. linear probe; 3.Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle. gilded copper hemispherical needles. |
適用范圍Widely used：
1.覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測(cè)試
2.硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻 半導(dǎo)體材料/晶圓、太陽(yáng)能電池、電子元器件，導(dǎo)電薄膜（ITO導(dǎo)電膜玻璃等），金屬膜，導(dǎo)電漆膜，蒸發(fā)鋁膜，PCB銅箔膜，
3.EMI涂層等物質(zhì)的薄層電阻與電阻率 導(dǎo)電性油漆，導(dǎo)電性糊狀物，導(dǎo)電性塑料，導(dǎo)電性橡膠，導(dǎo)電性薄膜，金屬薄膜，
4.抗靜電材料， EMI 防護(hù)材料，導(dǎo)電性纖維，導(dǎo)電性陶瓷等，
功能描述Description：
1. 四探針單電測(cè)量方法
2. 液晶顯示，自動(dòng)測(cè)量，自動(dòng)量程，自動(dòng)系數(shù)補(bǔ)償.
3. 集成電路系統(tǒng)、恒流輸出.
4. 提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面選擇
參照標(biāo)準(zhǔn)：
1.硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）.
2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》.
3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針?lè)ā?
4.GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針?lè)ā?
工作原理和計(jì)算公式
1.四探針?lè)y(cè)試薄層樣品方阻計(jì)算和測(cè)試原理如下：
直線四探針測(cè)試布局如圖8，相鄰針距分別為S1、S2、S3,根據(jù)物理基礎(chǔ)和電學(xué)原理：
當(dāng)電流通過(guò)1、4探針，2、3探針測(cè)試電壓時(shí)計(jì)算如下：
1. 開(kāi)啟電源，預(yù)熱5分鐘.
2. 裝配好探頭和測(cè)試平臺(tái).
3. 設(shè)定所需參數(shù).
4. 測(cè)量樣品
5. 導(dǎo)出數(shù)據(jù).
1. 自動(dòng)量程
2. 準(zhǔn)確穩(wěn)定性.
3. 雙電組合測(cè)試方法
4. 標(biāo)準(zhǔn)電阻校準(zhǔn)儀器
5. 同時(shí)顯示電阻、電阻率、電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
6. 可顯示5位數(shù)字.
7. 中、英文界面
部分客戶案例
福建萬(wàn)龍金剛石工具有限公司
杭州晶鑫鍍膜包裝有限公司
丹東海浩電子科技有限公司
杭州晶鑫鍍膜包裝有限公司
華南理工大學(xué)
遠(yuǎn)東福斯特新能源有限公司
南方科技大學(xué)
福建省泉州萬(wàn)龍實(shí)業(yè)有限公司
蘇州環(huán)明電子科技有限公司
石家莊軍械學(xué)院
天津儀恒達(dá)科技有限公司
南昌公瑾科技有限公司
木森林股份有限公司
北京瑞億斯科技有限公司
浙江納沛新材料有限公司
深圳市中科測(cè)儀電子科技有限公司
寧波恩邁智能科技有限公司
北京慧遠(yuǎn)偉業(yè)科技有限公司
中山市廣衛(wèi)消費(fèi)設(shè)備有限公司
成都萬(wàn)成科技有限公司
河北德凱鐵路信號(hào)器材有限公司
海南冷港科技有限公司
浙江世泰實(shí)業(yè)有限公司
南昌公瑾科技有限公司
上海蒙健實(shí)業(yè)有限公司
北京雪迪龍科技股份有限公司
藝奧品成像技術(shù)蘇州有限公司
安徽師范大學(xué)
廣西興宏源科技有限公司
浙江立德產(chǎn)品技術(shù)有限公司
株洲麥格米特電氣有限公責(zé)任公
江陰市中興光電實(shí)業(yè)有限公司
江蘇儀征電子管有限公司
北京思普特科技有限公司
東莞市塑高塑化科技有限公司
赫禎新材料科技（上海）有限公司
服務(wù)項(xiàng)目
1.質(zhì)保：12個(gè)月，長(zhǎng)期維護(hù).
2.培訓(xùn)：操作培訓(xùn)：
電話教學(xué)；U盤教學(xué)文件；遠(yuǎn)程可視溝通；現(xiàn)場(chǎng)教學(xué)；說(shuō)明書教學(xué)文件
3.保養(yǎng)和維護(hù)：
提供因知保養(yǎng)和維護(hù)文件、標(biāo)識(shí)、表格 、保養(yǎng)提醒.
4.驗(yàn)證文件：
3Q驗(yàn)證文件、計(jì)量證書
5.擴(kuò)展服務(wù)：
延保服務(wù)，樣品測(cè)試服務(wù)，后延服務(wù)，儀器租賃服務(wù).
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