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上海貝丁漢工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司
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所 在 地上海
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更新時(shí)間：2025-03-07 11:33:09瀏覽次數(shù)：36次
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3D激光干涉儀--同步測(cè)量被測(cè)物體的位移、偏擺角和俯仰角激光器和鏡組數(shù)據(jù)處理器光學(xué)鏡組世界范圍內(nèi)，同類產(chǎn)品中效率精度的干涉儀
| 3D激光干涉儀--同步測(cè)量被測(cè)物體的位移、偏擺角和俯仰角 | ||||||
世界范圍內(nèi)，同類產(chǎn)品中效率精度的干涉儀。
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技術(shù)參數(shù)
| 位移測(cè)量范圍 | 15 m |
| 位移測(cè)量分辨率 | 1.25 nm |
| 位移測(cè)量精度 | +/-0.4 ppm（需使用環(huán)境補(bǔ)償器） |
| 位移測(cè)量速度 | 2 m/s |
| 位移速度測(cè)量精度 | 1 ppm |
| 角度測(cè)量范圍 | +/-10° |
| 角度測(cè)量分辨率 | 0.012角秒 |
| 角度測(cè)量精度 | +/-0.1 ppm（角度沿某中心旋轉(zhuǎn)） +/-0.02%+/-0.5+/-0.1M（M=軸向標(biāo)定距離，單位為米） |
| 角度測(cè)量速度 | 90 rad/s |
| 角速度測(cè)量精度 | 1 ppm |
上圖為從一個(gè)坐標(biāo)軸方向同步測(cè)量物體的位移、偏擺和俯仰角光路圖 視頻演示
上圖為一個(gè)具體的3-軸干涉鏡和3-軸反射鏡系統(tǒng)，光束由激光頭發(fā)出后進(jìn)入干涉鏡，3-軸干涉鏡把輸入的光束分為三個(gè)部分： 信號(hào)光束1用于位移的測(cè)量，信號(hào)光束2用于俯仰角的測(cè)量，信號(hào)光束三用于偏擺角的測(cè)量。 所有的光束照射到被測(cè)物體（3-軸反射鏡固定在被測(cè)物體上）后再次反射到干涉鏡上，每個(gè)信號(hào)光束與反射的光束進(jìn)行干涉，然后干涉光束傳輸?shù)郊す忸^里，進(jìn)行信號(hào)分析后進(jìn)入到軟件里。
三軸測(cè)量軟件（位移、偏擺和俯仰角） 三角關(guān)系的設(shè)定 
測(cè)量結(jié)果的統(tǒng)計(jì) 在位置5開始測(cè)量 
位移和角度的測(cè)量 ISO230數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)
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