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邁可諾技術(shù)有限公司
產(chǎn)品型號SPIN150i
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地上海市
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更新時間:2021-05-20 16:34:10瀏覽次數(shù):372次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線腔體直徑 | 8英寸 (202 毫米 |
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SPIN德國勻膠機(jī)150i型適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。MYCRO的SPIN系列勻膠機(jī)具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動,可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的*性和均勻性,這正是SPIN150i型勻膠機(jī)的特點。
SPIN德國勻膠機(jī)150i型(spin coater)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
三、勻膠機(jī)主要性能指標(biāo):
1、腔體直徑:8英寸 (202 毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-160mm直徑的材料,4英寸方片;
3、轉(zhuǎn)速范圍: 1~12000RPM**,±1rpm steps;
4、加速度:30000RPM/S;
5、轉(zhuǎn)速精度: ±0.1rpm;
6、程序段數(shù):無限制;
7、操作步數(shù):無限制;
8、旋轉(zhuǎn)時間:無限制*,±0.1 Second steps;
9、旋轉(zhuǎn)方向:順時針,逆時針,交換擺動;
10、擴(kuò)展接口:1個USB接口;
11、馬達(dá)保護(hù):20-50kPa,2-5l/min,Tube OD Ø 6mm(可關(guān)閉);
12、排廢連接:1” M-NPT;
13、觸屏控制:全彩觸摸屏控制界面;
產(chǎn)品相關(guān)關(guān)鍵字: 勻膠機(jī) 旋涂儀 鍍膜機(jī) 勻膠臺 甩膠機(jī) |
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