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北京億誠恒達(dá)科技有限公司
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更新時間:2017-06-29 17:11:29瀏覽次數(shù):745次
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產(chǎn)品參數(shù):
1. 縱向分辨率:0.1nm
2. 重復(fù)精度:0.54nm(1σ@1000nm )
3. 接觸力 :0.01mg ~ 100mg
4. 縱向量程:500um or 1000um
5. 探針掃描范圍:10um ~ 500um
6. 樣品臺掃面范圍:500um~100mm
7. 采樣速率:100Hz
8. 彩色CCD
9.
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1. 縱向分辨率:0.1nm
2. 重復(fù)精度:0.54nm(1σ@1000nm )
3. 接觸力 :0.01mg ~ 100mg
4. 縱向量程:500um or 1000um
5. 探針掃描范圍:10um ~ 500um
6. 樣品臺掃面范圍:500um~100mm
7. 采樣速率:100Hz
8. 彩色CCD
9. 視場分辨率:512X512 像素
10. 視場放大: 4 級調(diào)節(jié) 480X480um 到 1.5X1.5mm
11. 自動平臺:150mm X 150mm 運(yùn)動范圍
12. 樣品臺:150mm 直徑 ,200mm可選
13. 探針: 標(biāo)注:2um 曲率半徑,100nm接觸面積; 0.05~25um曲率可選
14. 標(biāo)準(zhǔn)臺階高度樣品,美國NIST標(biāo)定: 500nm ;100um 兩塊
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