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北京杜克泰克科技有限公司
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更新時間：2024-03-13 19:03:22瀏覽次數(shù)：68次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng)阿瑞斯-µVOC
空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng) 阿瑞斯-µVOC
高達16通道的低于ppb級濃度有機物監(jiān)測
連續(xù)監(jiān)測@ sub ppb級
醋酸、草酸 、胺類、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷（HMDS）、鄰苯二甲酸二辛酯（DOP）、鄰苯二甲酸二丁酯（DBP）、鄰苯二甲酸二乙酯（DEP）、異丙醇、丙酮、硼酸三甲酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有機物
空氣分子污染物 (AMC) 對于高科技生產(chǎn)過程是關鍵性因素，特別是微電子行業(yè)，有機污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素，會導致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加。
無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標，通過污染物源頭控制、傳播控制，實時監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級過濾器以及新風系統(tǒng)來實現(xiàn)，持久監(jiān)測AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預防過濾器突發(fā)性壽命減少等。
uVOC-CAM提供給客戶一個實時快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測方案，不需要采樣，離線測量。
檢測限達到sub-ppb級
潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內(nèi)部來自建筑材料釋出、設備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設備維護修理時散發(fā)等，外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。
一旦AMC空氣分子污染物超標會引起一系列嚴重后果，比如晶圓廢棄、停產(chǎn)、重新凈化潔凈室等。
空氣分子污染物問題:從潔凈間到生產(chǎn)機臺加工
隨著IC產(chǎn)品生產(chǎn)成本的增加，空氣分子污染物AMC的監(jiān)測變得越來越重要。
污染物從加工到超凈間的擴散，并且成份的增加，分子污染物來自多個源頭，比如生產(chǎn)化學藥劑、建筑材料、潔凈間設備裝置、操作人員等。
µ-VOC 系統(tǒng)意味著潛在鑒別空氣分子污染物與產(chǎn)生污染問題和減少污染問題之間的關聯(lián)，完整的全量程全組份實時sub-ppb級測量，提供早期AMC監(jiān)測和快速確定這些污染問題的原因。
亮點
一般特點
在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測全部自動化系統(tǒng)
低濃度VOC監(jiān)測
獨立分開測量有機物成份
Sub-ppb檢測限
集成計算機和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能
應用
潔凈間污染物監(jiān)測
過濾器狀態(tài)監(jiān)測
加工過程全組份測量診斷污染物
通過成份形成跟蹤污染物源頭
許多生產(chǎn)過程化學藥劑成為污染物的源頭，NH3因光刻工藝過程而。六甲基二硅胺烷（HMDS）又分解成三甲基硅醇和NH3，等等很多類似的化學藥劑的分解與釋放，都造成AMC的增加。而實時迅速測量這些成份濃度的µ-VOC 系統(tǒng)可以跟蹤污染物形成的時間和路線。
工作原理
GC氣相色譜是分離多種復雜混合物常用的技術(shù)，這種技術(shù)依賴于揮發(fā)性有機混合氣體在色譜柱的多組份分離。
當不同的揮發(fā)性有機物從色譜柱分離出來后通過氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導率的變化，從而確定不同組份的濃度，的吹掃和載氣系統(tǒng)可使儀器達到sub-ppb檢測限。
特性
工作原理： 測量量程: 準確度： 尺寸 (HxWxD) 防護等級 工作溫度: 通訊: 電源: 供氣要求: 采樣通道: 分辨率: 測量組份: | GC-FID 0-200 ppb 2% 160 cm x 60 cm x 80 cm Nema 12 或IP54不銹鋼外殼 10°C—35 °C RS-232, Ethernet, ODBC 230 Vac, 50/60 Hz 900W CDA 5 l/min H2 130 sccm (可選H2發(fā)生器) 高達16 0,1 ppb 高達30, 客戶可定制 |
可測組份
2-氨基乙醇 CH3NH2CH2OH 2-氨基丙醇 CH3NH2C2H4OH 異丙醇 （CH3）2CHOH 乙醇胺 H2NCH2CH2OH 環(huán)己胺 C6H11NH2 環(huán)聚二甲基硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)n 對二氯苯 ClC6H4Cl 鄰苯二甲酸二壬酯 C6H4(C=OOC9H19)2 鄰苯二甲酸二癸酯 C6H4(C=OOC10H21)2 十甲基環(huán)五硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)5 二甲苯 (CH3)2C6H4 三甲基硅醇 C3H10OSi | （t-乙酸丁脂）二羥基甲苯 H3CC6H3(t-C4H9)2OH 六甲基二硅胺烷 （CH3）3SiNHSi(CH3)3 二乙氨基乙醇 (C2H5)2NC2H5OH 鄰苯二甲酸二辛酯 C6H4(C=OOC8H15)2 鄰苯二甲酸二乙酯 C6H4(C=OOC2H5)2 鄰苯二甲酸二丁酯 C6H4(C=OOC4H9)2 三乙胺（C2H5）3N 鄰苯二甲酸二環(huán)己酯 C6H4(C=OOC6H11)2 磷酸三乙酯 （C2H5O）3P=O 十二甲基環(huán)五硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)6 三甲酚磷酸酯 （CH3C6H4O)3P=O 等等 |
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