產(chǎn)品特點(diǎn)
檢測對(duì)象氣體:胂、膦、硅烷、氫氣等
性能參數(shù)
* 于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏
* 采用聲光報(bào)警
型號(hào) | XP-703D |
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檢測對(duì)象氣體 | 半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、硅烷、氫氣等) |
檢測原理 | 型半導(dǎo)體式 |
采樣方式 | 自動(dòng)吸引式 |
可檢測濃度 (單位:ppm) | 砷烷 磷烷 B2H6 硅烷 氫氣 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
檢測表示 | 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍 |
應(yīng)答速度 | 10秒以內(nèi) |