質(zhì)量流量計(jì)常用于需要精確測(cè)量氣體流量的系統(tǒng)。ALICAT質(zhì)量流量計(jì)，高精度密、可重復(fù)、可定制化、被設(shè)計(jì)用于各種不同應(yīng)用的質(zhì)量流量計(jì)，采用的層流壓差技術(shù)保證了速度極快的線(xiàn)性測(cè)量，默認(rèn)的標(biāo)準(zhǔn)功能包括：200：1量程可調(diào)比，可精確測(cè)量滿(mǎn)量程兩百分之一的流量；內(nèi)置130種氣體可選，為客戶(hù)減少由于氣體種類(lèi)多樣性而造成的不必要的庫(kù)存；多功能的按鈕操作數(shù)字顯示屏，為用戶(hù)提供了無(wú)需任何通訊產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
一、ALICAT質(zhì)量流量計(jì)，高精度產(chǎn)品特點(diǎn)
操作簡(jiǎn)單
Alicat 質(zhì)量流量計(jì)(M系列)作為一個(gè)獨(dú)立設(shè)備，帶有多功能數(shù)字顯示屏，用戶(hù)可通過(guò)面板按鈕調(diào)節(jié)參數(shù)，無(wú)需連接但腦或其他任何復(fù)雜的編程軟件。
測(cè)量精確
標(biāo)準(zhǔn)型Alicat 質(zhì)量流量計(jì)(M系列)的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)，增加高精選配項(xiàng)則可達(dá)±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。
高性?xún)r(jià)比
ALICAT質(zhì)量流量計(jì)，高精度(M系列)本身耗電極小，從而降低了系統(tǒng)運(yùn)營(yíng)的成本，且相比與同類(lèi)產(chǎn)品，其壓損亦相對(duì)較小，降低壓損意味著更多氣體進(jìn)入到系統(tǒng)中，而不是停留在測(cè)量?jī)x器中。除質(zhì)量流量外，M系列質(zhì)量流量計(jì)還可同時(shí)測(cè)量體積流量、壓力和溫度，您無(wú)需另外采購(gòu)和安裝其它設(shè)備。使用累加器(TOT)功能可顯示流經(jīng)氣體總量，是監(jiān)控整個(gè)應(yīng)用過(guò)程及減少氣體浪費(fèi)的有效的方法。
性能
M系列質(zhì)量流量計(jì)可測(cè)量從0.5SCCM到3000SLPM的滿(mǎn)量程的任何流量，配有多種模擬信號(hào)輸出及RS-232數(shù)字信號(hào)輸出。該系列質(zhì)量流量計(jì)亦有便攜式型號(hào)(MB系列)，采用一塊普通9伏電池供電，即成為一款二等標(biāo)準(zhǔn)流量校準(zhǔn)設(shè)備。
反應(yīng)靈敏
10毫秒典型反應(yīng)時(shí)間
體積嬌小
ALICAT氣體質(zhì)量流量計(jì)嬌小的本體使其極易被安裝于系統(tǒng)中或作為一款單獨(dú)的校準(zhǔn)設(shè)備隨身攜帶。
高重復(fù)性
Alicat 的技術(shù)使得質(zhì)量流量計(jì)幾乎沒(méi)有可移動(dòng)部件，所有零件都被內(nèi)置固定，腔體內(nèi)不存在物理變化，從而具有較高的*性和重復(fù)性。M系列質(zhì)量流量計(jì)的重復(fù)性可達(dá)±0.2% F.S。
值得信賴(lài)
現(xiàn)有超過(guò)90000臺(tái)Alicat設(shè)備正被使用在不同領(lǐng)域中，如：科學(xué)研究、泄漏測(cè)試、環(huán)境監(jiān)測(cè)、真空鍍膜、半導(dǎo)體、汽車(chē)制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計(jì)量以及過(guò)程工藝氣體測(cè)量等。所有Alicat 設(shè)備均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)。
二、ALICAT質(zhì)量流量計(jì)，高精度性能參數(shù)
指標(biāo) | ALICAT氣體質(zhì)量流量計(jì) |
量程 | 0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....2000SLPM，3000SLPM，4000SLPM |
精度 | ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿(mǎn)量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿(mǎn)量程） |
重復(fù)性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應(yīng)時(shí)間 | 10ms |
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
溫度范圍 | -10～50 |
零點(diǎn)漂移 | 0.02％ |
量程漂移 | 0.02％ |
濕度范圍 | 0-* |
測(cè)量流量范圍 | 128％（過(guò)流率） |
zui大耐壓 | 145psi |
輸出信號(hào)（數(shù)字） | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
數(shù)字信號(hào)可選 | RS485，Modbus，Profibus |
輸出信號(hào)（模擬） | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
模擬信號(hào)可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針（根據(jù)不同類(lèi)型流量計(jì)而定） |
供電電壓 | 7-30VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC） |
供電電流 | 0.035A（4-20mA輸出時(shí)為：0.055A） |
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