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變溫霍爾效應(yīng)測(cè)量?jī)x報(bào)價(jià)變溫霍爾效應(yīng)測(cè)量?jī)x報(bào)價(jià)（含安裝培訓(xùn)，帶電腦） 型號(hào):CH-500H庫(kù)號(hào)：M381636   高低溫霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)型號(hào)：CH-500H

本儀器系統(tǒng)由電磁鐵、電磁鐵電源、高精度恒流源、高精度電壓表、霍爾效應(yīng)樣品支架、標(biāo)準(zhǔn)樣品、高低溫杜瓦，控溫儀，系統(tǒng)軟件組成。為本儀器系統(tǒng)專門研制的CH-320A效應(yīng)儀將恒流源，六位半微伏表及霍爾測(cè)量復(fù)雜的切換繼電器——開關(guān)組裝成一體，大大減化了實(shí)驗(yàn)的連線與操作。CH-320A可單獨(dú)做恒流源、微伏表使用。用于測(cè)量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù)，而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性預(yù)先掌控的，因此霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性的工具。實(shí)驗(yàn)結(jié)果由軟件自動(dòng)計(jì)算得到，可同時(shí)得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)等等。

系統(tǒng)參數(shù)：

我們可提供各類霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)用于教學(xué)和研究

可測(cè)試材料：

物理學(xué)參數(shù)：載流子濃度

（Carrier Density） 103cm-3 ～ 1023cm-3

遷移率（Mobility） 0.1cm2/volt*sec ～108cm2/volt*sec

電阻率范圍（Resistivity） 10-7 Ohm*cm～1010 Ohm*cm

霍爾電壓

（Hall voltage） 0.1uV ～ 10V

霍爾系數(shù) 10-3 ～ 105cm3/C

可測(cè)試材料類型：半導(dǎo)體材料 SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP,AlGaAs, HgCdTe和鐵氧體材料等

低阻抗材料 石墨烯、金屬、透明氧化物、

弱磁性半導(dǎo)體材料、TMR材料等

高阻抗材料 半絕緣的GaAs, GaN, CdTe等

材料導(dǎo)電粒子 材料的P型與N型測(cè)試

磁場(chǎng)環(huán)境：磁鐵類型 可變電磁鐵

磁場(chǎng)大小 600mT（極頭間距為：45mm）

均勻區(qū) 1%

小分辨率 0.1Gs

可選磁環(huán)境 可根據(jù)客戶需求定制相關(guān)磁性大小的電磁鐵，

電學(xué)參數(shù)：電流源 1.00nA-1000.00mA

電流源分辨率 0.001nA

測(cè)量電壓 0～±10V

電壓測(cè)量分辨率 0.0001mV

溫度環(huán)境：80K ～ 800K（高低溫溫度調(diào)節(jié)0.1K）

控溫精度 小于0.05%F.S±1個(gè)字

其他配件：遮光性 外部安裝遮光部件，使得測(cè)試材料加穩(wěn)定

樣品尺寸 10mm*10mm

箱式機(jī)柜 600*600*1000mm

測(cè)試樣片 提供中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體所霍爾效應(yīng)

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試樣片及數(shù)據(jù)：1套

（硅、鍺、砷化鎵、銻化銦）

制作歐姆接觸 電烙鐵、銦片、焊錫、漆包線等

儀器介紹：

如下表格為各個(gè)儀器的詳細(xì)技術(shù)指標(biāo)：

序號(hào) 名稱 主要技術(shù)參數(shù)

儀器1 CH-100

電磁鐵 1、磁場(chǎng)強(qiáng)度（Magnet Flux Density）

N，S 間距 10mm 時(shí)大磁場(chǎng) 1900mT

N，S 間距 20mm 時(shí)大磁場(chǎng) 1300mT

N, S 間距 30mm 時(shí)大磁場(chǎng) 900mT

N, S 間距 40mm 時(shí)大磁場(chǎng) 800mT

N, S 間距 45mm 時(shí)大磁場(chǎng) 600mT

3、磁場(chǎng)均勻區(qū)（Uniformity）：間隙 10mm 時(shí)直徑 20mm 范圍均勻度為 1%

3、電磁鐵參數(shù)

3.1、極柱直徑φ：100mm

3.2、極頭直徑φ：60mm

3.3、極頭間隙可調(diào)范圍：0 ～ 100mm

3.4、線圈內(nèi)阻：10.0Ω

3.5、磁場(chǎng)穩(wěn)定性：±0.3Gs（24h 時(shí)間內(nèi)）

3.6、自重：110Kg

3.7、自帶移動(dòng)車輪，可根據(jù)客戶需要隨意變動(dòng)放置位置

儀器2 CH-20045

恒流源 1、輸出電壓：輸出電壓范圍 0V—±100V DC，

開路輸出電壓為 120V±8V @10A

2、輸出電流：–10A ～ +10A DC（電流線性漸變速率 0.01A/s—2A/s 連續(xù)可選）

3、高步進(jìn)分辨率 0.1mA（1/100000 F.S.）

4、準(zhǔn)確度 ±（0.2%設(shè)置值+5mA）、

穩(wěn)定度優(yōu)于?±0.1% @10A

5、噪聲/紋波：10mA RMS 典型值 @10A

6、 RS-232 接口可數(shù)控極性轉(zhuǎn)換，方便進(jìn)行自動(dòng)化試驗(yàn)過程

7、交互能力： 白色背光 FSTN LCD 顯示器，的 LED 狀態(tài)指示器，與顯示器和指示器配合的3/4 鍵交互型功能鍵盤操作，標(biāo)準(zhǔn)配備 RS-232C計(jì)算機(jī)接口和易用的接口特性，完備的計(jì)算機(jī)接口命令集，掃描過程中的定時(shí)連續(xù)觸發(fā)輸出功能

8、負(fù)載保護(hù)功能：儀器掉電保護(hù)、儀器過溫保護(hù)、儀器過流保護(hù)、儀器過功率保護(hù)。

儀器3 CH-1500

高斯計(jì) 1、量程：±0.1Gs ～ ±30kGs

2、分辨率：0.1Gs

3、精度：讀數(shù)的±0.3%±0.05%量程

4、測(cè)磁傳感器厚度為1.0mm，長(zhǎng)度為100mm

5、人機(jī)交互：明亮的寬屏高清液晶屏，

4?位顯示，標(biāo)準(zhǔn)9針“D"型RS232連接器

6、自動(dòng)化：完備的計(jì)算機(jī)指令，可通過數(shù)據(jù)通訊，實(shí)時(shí)在電腦界面監(jiān)測(cè)并控制測(cè)試樣品周圍的磁場(chǎng)環(huán)境

儀器4 CH-320A

樣品恒流源 1、電流輸出基本分辨力0.001nA，電壓測(cè)量基本分辨力0.0001mV

2、輸出量程：1.00nA-1000.00mA中間可以0.001nA步進(jìn)連續(xù)可調(diào)

3、測(cè)量電壓：0～±10V大量程測(cè)試電壓滿足高阻芯片的測(cè)試

4、內(nèi)置自動(dòng)變換的四相陣卡，可實(shí)現(xiàn)霍爾效應(yīng)范德堡法的自動(dòng)測(cè)量

5、良好的人機(jī)交互界面，方便使用者進(jìn)行手動(dòng)調(diào)節(jié)

6、完備的上位機(jī)指令，可與電腦進(jìn)行通訊完成各項(xiàng)操作

儀器5 恒源器

（高低溫） 1、液氮恒溫器溫度測(cè)試范圍：80K ～ 800K（測(cè)量速率達(dá)20次/秒）

2、測(cè)溫精度：全量程范圍內(nèi)為0.1K（PT100 鉑電阻）

3、測(cè)溫方法：四引線電阻法

4、真空度：關(guān)閉閥門后可保持腔體內(nèi)部小于0.1Pa

5、接插件：標(biāo)準(zhǔn)用DP6針插頭和DP8針插頭，其中6芯用于溫度傳感器，兩芯用于加熱器，剩余八芯測(cè)量線供使用者從恒溫器連接到測(cè)量?jī)x表，可自行定義。

儀器6 TC-202

控溫儀 1、測(cè)控溫溫區(qū)：1.4 K--- 850 K（具體范圍需依據(jù)使用溫度計(jì)的型號(hào)而定）

2、控溫誤差：小于0.05%F.S ±1個(gè)字（可對(duì)溫漂、時(shí)漂進(jìn)行自動(dòng)補(bǔ)償）

3、分辨率：1/60000

4、加熱功率輸出：過零開斷的位式調(diào)節(jié)，0-- 24V，大 2A濾波直流輸出

5、可提供兩路PID型溫度控制，大輸出功率為100W

儀器7 上位機(jī)軟件 1、可實(shí)現(xiàn)一鍵自動(dòng)化測(cè)量，檢測(cè)開始后無需人員進(jìn)行操作即可進(jìn)行測(cè)量。

2、在軟件中進(jìn)行設(shè)置可進(jìn)行自動(dòng)變溫測(cè)量。

3、軟件中可進(jìn)行I-V曲線、B-V曲線以及測(cè)量的各個(gè)半導(dǎo)體參數(shù)對(duì)于溫度t的曲線圖

4、軟件內(nèi)進(jìn)行的模塊化設(shè)計(jì)，方便客戶使用以及進(jìn)行相關(guān)功能的開發(fā)

5、實(shí)驗(yàn)結(jié)果測(cè)量完成，數(shù)據(jù)將暫時(shí)保存在軟件中，如需要長(zhǎng)期保存可將數(shù)據(jù)導(dǎo)出至EXCEL表格中，方便后期的數(shù)據(jù)處理

6、提供中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體所霍爾效應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試樣片及數(shù)據(jù)：1套

儀器 8 配套儀器裝置 1、標(biāo)準(zhǔn) 600mm*600mm*1000mm（長(zhǎng)*寬*高）箱式機(jī)柜，內(nèi)置 6 芯插排，數(shù)量和功率均滿足各使用儀器電源的同時(shí)使用要求

2、標(biāo)準(zhǔn)接口用 FX-8 型號(hào)機(jī)械真空泵，速度可達(dá)：3L/S

3、恒溫器固定裝置，帶滑軌可實(shí)現(xiàn)恒溫器帶動(dòng)樣片的移動(dòng)。

4、磁場(chǎng)傳感器探頭固定裝置：全鋁非導(dǎo)體支架5-70mm 可調(diào)

5、溫度測(cè)量與控制連接線固定裝置

6、制作樣品上歐姆接觸焊點(diǎn)的相應(yīng)工具：電烙鐵、銦片、焊錫、漆包線等

儀器 9 樣品測(cè)試臺(tái) 本套高低溫霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)中采用的是彈簧壓針法固定樣品，相對(duì)于以前焊接信號(hào)連接線方式加方便快捷。

常規(guī)夾持樣品尺寸：10mm*10mm

大夾持樣品尺寸為：16mm*16mm

小夾持樣品尺寸為：1.5mm*1.5mm。