目前對于無機酸堿性氣體的處理方法主要以吸收法為主，其原理為藉由氣液兩相接觸的氣體吸收程序，將氣體中的溶質(zhì)吸收輸送至液體內(nèi)部，常見的吸收洗滌裝置有：噴淋塔（spary column）、板式吸收塔（plate absorption tower）及填充塔（packed tower）等，所用的裝置，必須能使氣體與液體充分接觸，以提高吸收效率。其中又以填充塔為各種氣體吸收洗滌塔中zui被廣泛使用，而國內(nèi)半導(dǎo)體及光電業(yè)廠家，也多以使用濕式洗滌塔來作為處理酸性及堿性氣體之防制設(shè)施。驪源環(huán)保（LEEPN）近年在半導(dǎo)體及光電產(chǎn)業(yè)客戶包括：因特爾、華虹NEC、中芯、龍騰光電、龍飛光電、奇美電子、阜康同創(chuàng)、西虹電子、創(chuàng)億欣電子、九晶電子、億田硅業(yè)等近60家企業(yè)。
填充式洗滌塔塔中通常填充著比表面積很大的填料物（packing），其目的乃欲使氣體與液體間具有充分接觸的機會。操作時，氣體混合由塔底進入，液體吸收劑則自塔頂由一分布器噴淋而下，然后在其流經(jīng)填料的途中，與逆流而上的氣體接觸，并吸收氣相中的溶質(zhì)，遂成
一溶液自塔底流出。
一般而言填料在使用時，其堆置的方式常可成兩大類：1、任意堆置（dumped packing）的填料；2、整齊堆置（stacked packing）的填料。而國內(nèi)廠家多半使用價廉質(zhì)輕的塑膠材質(zhì)填料，并以任意堆置方式填充。一般在設(shè)計洗滌塔時亦須考慮幾個部份：
1、尺寸：為使氣體速度均勻*，并在可能發(fā)生迴流之處設(shè)置分調(diào)節(jié)板。
2、噴嘴的選擇：一般洗滌液為循環(huán)使用，故高壓噴嘴式的洗滌塔對于所使用的液體要求zui嚴格。
3、液體處理設(shè)備：為防止洗滌液造成環(huán)境污染問題，因此經(jīng)常循環(huán)使用洗滌液以減少廢水量，但也因此增加了污染物的濃度，另外選擇不同的洗滌液可同時處理不同的氣體。由于洗滌廢液具有腐蝕性，故亦需使用防蝕性材質(zhì)。
4、潤濕因子：填充式洗滌塔為一利用洗滌液體與氣狀污染物之氣液接觸，進而吸收處理污染物之設(shè)備。因此，為了使液體能夠均勻分佈在填充物上，已增加氣體與液體*接觸之面積。
5、填充物之比表面積：填充物有非常多種，其可選擇的直徑尺寸從30mm 到95mm 都有。
6、液氣比：洗滌塔是利用液體將空氣中污染物吸收處理，所以液氣比為一相當重要的操作慘數(shù)，其對洗滌塔的效率有很大的影響。
7、操作參數(shù)的評估與設(shè)計： 根據(jù)Perry’s Chemical Engineers’Handbook：其總傳輸單位數(shù)（Number of overall mass transfer unit；NOG），可由氣液平衡關(guān)系求出。
8、填充高度的設(shè)計。
