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行業(yè)產(chǎn)品

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東莞市博世機(jī)電設(shè)備有限公司


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激光切割機(jī)光束

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產(chǎn)品型號(hào)激光切割機(jī)打孔

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地東莞市

聯(lián)系方式:劉先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2022-08-03 13:42:16瀏覽次數(shù):355次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:64條

所在地區(qū):廣東東莞市

聯(lián)系人:劉先生 (銷售經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

從光化學(xué)反應(yīng)的角度,改變激光切割機(jī)刻蝕發(fā)生的氛圍,就能部分改變發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)的反應(yīng)條件,如反應(yīng)環(huán)境中各種氣體的比例。對(duì)于某一個(gè)具體的刻蝕過程,究竟怎樣的刻蝕氣氛能獲得良好的表面質(zhì)量還不影響刻蝕率,需要在實(shí)際的實(shí)驗(yàn)中摸索,刻蝕氣氛影響刻蝕過程的機(jī)理也更加復(fù)雜。

詳細(xì)介紹

     激光切割機(jī)打孔的形狀和zui大深度取決于光通量和光學(xué)設(shè)置,成像透鏡的數(shù)值孔徑與焦深(DoF)有關(guān)。當(dāng)激光切割機(jī)光束有一個(gè)大發(fā)散角時(shí)這有可能限制通道的長度。例如,數(shù)值孔徑0.1的成像透鏡(與光刻透鏡比低很多),對(duì)248nm波長,可以產(chǎn)生約25um的焦深。實(shí)際上,這個(gè)問題并不像一看起來那樣嚴(yán)重。與光刻相比,亞微米的分辨率通常是不要求的,這擴(kuò)大了它的應(yīng)用范圍。更進(jìn)一步,激光切割機(jī)光束被孔壁反射,因?yàn)樗鼈儙缀踅咏由浣欠较蛉肷?,深寬比可能達(dá)到近40,另外它增力Ⅱ了幾何的容許度,并且需要仔細(xì)調(diào)整激光束參數(shù)。當(dāng)激光束穿過通道,表面粗糙度有一些小的變化或者側(cè)壁角偏移,將影響激光切割機(jī)中激光方向和反射光強(qiáng)度。光束在通道內(nèi)向光波導(dǎo)似的被引導(dǎo),但是內(nèi)表面的漂移將導(dǎo)致方向有小的變化,將影響邊界的直線度。通道的長度被限制,因?yàn)楸粴饣臒岵牧闲枰或?qū)出。氣化動(dòng)能和粒子必須足夠高,以能從邊界逸出,否則燒蝕的材料將在側(cè)壁上重凝結(jié),導(dǎo)致打孔過程中止。


   從光化學(xué)反應(yīng)的角度,改變
激光切割機(jī)刻蝕發(fā)生的氛圍,就能部分改變發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)的反應(yīng)條件,如反應(yīng)環(huán)境中各種氣體的比例。對(duì)于某一個(gè)具體的刻蝕過程,究竟怎樣的刻蝕氣氛能獲得良好的表面質(zhì)量還不影響刻蝕率,需要在實(shí)際的實(shí)驗(yàn)中摸索,刻蝕氣氛影響刻蝕過程的機(jī)理也更加復(fù)雜。

    (1)高速氮?dú)饬鲗?duì)刻蝕率和粗糙度的影響
    實(shí)驗(yàn)裝置,與管線連接的就是氣體噴嘴,實(shí)驗(yàn)中氮?dú)獾膲簭?qiáng)為lMPa在其他實(shí)驗(yàn)條件都相同的條件下,分別測(cè)量了有無高速氮?dú)饬髑闆r下的刻蝕率。同時(shí)也測(cè)量有無氮?dú)饬髑闆r下激光切割機(jī)刻蝕表面的輪廓偏巨的算術(shù)平均值(表示為Ra)、均方根蘭(表示為Rq)和取樣范圍內(nèi)5個(gè)zui大輪廊峰高和谷深的算術(shù)平均值,高速氮?dú)饬鲗?duì)刻蝕率和刻蝕表面粗糙度均沒有明顯的影響。


    (2)高速氮?dú)饬鲗?duì)刻蝕表面的改善
    用光學(xué)顯微鏡觀察了在*入射能量lOJ/cm2下有無高速氮?dú)饬鞯目涛g表面。噴高速氮?dú)饬骱螅砻娉练e的微結(jié)構(gòu)大大減少。盡管羽輝中各種成分離開刻蝕表面的速度非常高,如C2可以達(dá)到l0\6cm/s,但是激光切割機(jī)刻蝕碎片在下落末期的速度已經(jīng)大大減小,高速氮?dú)饬髂軌虼瞪⑦@些碎片,使得沉積到表面的微結(jié)構(gòu)減少。

         邊界上部分的幾何形狀可以用簡單的模型來描述。側(cè)壁角可以用光線入射角、光學(xué)系統(tǒng)分辨率、激光通量、燒蝕閾值決定。當(dāng)激光切割機(jī)開始鉆孔,光束擊打在材料表面,入射角幾乎垂直于表面,偏移角對(duì)應(yīng)于光學(xué)系統(tǒng)數(shù)值孔徑。不管孔的斗狀入射角,激光切割機(jī)入射的激光輻射在接近邊緣(深度z=0)處被側(cè)壁反射到另一邊側(cè)壁的z=h1處。在孔道較深的部分,從側(cè)壁的反射必須考慮進(jìn)來。深度h1,在其上部的形狀不受反射光束的影響,r為側(cè)壁角;o為對(duì)應(yīng)于光學(xué)系統(tǒng)數(shù)值孔徑的角;e為入口處的孔直徑。當(dāng)激光切割機(jī)打一系列的孔使孔的深度增加,側(cè)壁達(dá)到一個(gè)角度,這時(shí),燒蝕通量正好匹配有效閾值的要求。在這一假設(shè)前提下,側(cè)壁角r由下文給處:式中,e為通量;e1為閾值通量。組合以上兩式,側(cè)壁角和深度h,可以通過燒蝕閾值計(jì)算出。它依賴于材料、波長和孔徑。


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