壓敏部件的構(gòu)造。它以設(shè)置在高壓一側(cè)及低壓一側(cè)的兩塊密封膜片，構(gòu)成EI型半導(dǎo)體壓力傳感器的兩個液腔。由高壓一側(cè)及低壓一側(cè)引進(jìn)的過程壓力作用在密封膜片上，通過封入的液體，分別傳送到半導(dǎo)體壓力傳感器的兩面，其壓力被變換成電信號后輸送給放大電路。
研制此種壓敏部件的指導(dǎo)思想，是著眼于變送器所需要的基本條件，并在充分考慮到提高精度、提高可靠性、擴(kuò)大適應(yīng)性、強(qiáng)化可維護(hù)性的基礎(chǔ)上開發(fā)而成的，具有如下優(yōu)點(diǎn)：
(1)長期穩(wěn)定性好
壓敏部件為全焊接結(jié)構(gòu)，并且除硅油外，壓腔內(nèi)再也沒有別的有機(jī)物質(zhì)。因此，液溫變化達(dá)一20～80％的范圍時，壓腔內(nèi)通常也能保持潔凈狀態(tài)。并且，即使將其置于嚴(yán)酷、惡劣的環(huán)境狀態(tài)下工作，也具有長期穩(wěn)定陛。
(2)溫度影響小
壓敏部件為左右對稱的兩個液腔結(jié)構(gòu)，腔內(nèi)注入等量的硅油。因此，就能確保傳感器不受溫度變化的影響，所以溫度特性良好。此外，溫度補(bǔ)償用熱敏電半導(dǎo)體壓力傳感器阻是以厚膜方式形成在傳感器的近旁，兩者之間不存在溫差，并且還有利于提高溫度補(bǔ)償電路的瞬態(tài)響應(yīng)特性。
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