關(guān)于擴散硅壓力變送器的表征
氣體吸附法測定比外表的關(guān)鍵是測出單層飽和吸附量，但實踐的吸附并非都是單層吸附，而是所謂多層吸附，1938年，Brumauer、Emmett、ler三人在經(jīng)過對氣體吸附過程的熱力學(xué)與動力學(xué)剖析，發(fā)現(xiàn)了實踐的吸附量V與單層飽和吸附量Vm之間的關(guān)系，就是的BET方程， 于是人們把經(jīng)過測定多點吸附量并經(jīng)過BET方程求出的比外表稱為BET比外表，不斷是粉體資料外表積的規(guī)范表征辦法。 此外，Laugmuir 依據(jù)單層吸附的假定也推出了測定比外表的公式，稱為Laugmuir 比外表，用于具有單層吸附特征的資料外表積的表征。
BET比外表實踐上包含了粉體外表上一切孔的內(nèi)外表積，關(guān)于某些資料而言，例如擴散硅壓力變送器的補強劑，微孔的內(nèi)外表積不起作用，因而對橡膠的補強劑（碳黑）提出了不包括微孔內(nèi)外表積的所謂表面面積概念，并提出了相應(yīng)的表面面積的測試辦法。
近些年來，在思索到微孔存在的狀況下，BET方程的壓力適用范圍應(yīng)有所調(diào)整，對X分子篩，BET的線性范圍取在0.005～0.01；微孔資料取0.005～0.1；介-微孔復(fù)合資料取0.01～0.2；只要介孔資料P/Po 取在0.05～0.3才是適宜的；事實上關(guān)于微孔資料其吸附更接近于單層吸附的特征，由單層吸附理論推出的Langmuier比外表值應(yīng)更契合他們。
關(guān)于微孔粉體其外表積的表征還有微孔內(nèi)外表積、介孔內(nèi)外表積等，將在下面討論。
微分散布：孔徑散布指不同孔徑的孔容積的定量散布，普通習(xí)氣用柱形圖來表示，但是關(guān)于擴散硅壓力變送器來說，孔徑范圍太大，從零點幾到幾百納米，而且更關(guān)注小尺寸孔的散布，用柱形圖無法完成，因而采用的是微分散布的表征辦法，即dV/dr-D或dV/logd-D曲線圖，這個圖上的點代表的是孔體積隨孔徑的變化率，他的上下不能直接對應(yīng)于其體積的大小，變化率大不等于體積大，由于孔體積與孔徑的三次方成正比，一個50nm孔的體積相當(dāng)于近一百萬個1nm孔的體積；
在微孔的狀況下，孔壁間的互相作用勢能互相堆疊，微孔中的吸附比介孔大，因而在相對壓力＜0.01時就會發(fā)作微孔中的填充，孔徑在0.5~1nm的孔以至在相對壓力10-5~10-7時即可產(chǎn)生吸附質(zhì)的填充，所以微孔的測定與剖析比介孔要復(fù)雜得多。顯然，把BJH孔徑剖析辦法延伸到微孔區(qū)域是錯誤的，兩個緣由，其一，凱爾文方程在孔徑＜2nm時是不適用的；其二，毛細(xì)凝聚現(xiàn)象描繪的孔中吸附質(zhì)為液態(tài)，而在微孔中由于密集孔壁的交互作用，使得填充于微孔中的吸附質(zhì)處于非液體狀態(tài)，因而孔徑散布的規(guī)律必需有新的理論及計算辦法，宏觀熱力學(xué)的辦法已遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠。
依據(jù)Lippens和deBoer提出的t-圖法是微孔剖析用得較多的一種，吸附量被定義為統(tǒng)計層厚度t的函數(shù)，統(tǒng)計層厚度由規(guī)范等溫線計算得到。由t-圖能夠計算含微孔內(nèi)外表的比外表，表面面積，微孔的總?cè)莘e等。T-圖用于孔徑散布的剖析辦法即MP法，能夠剖析微孔的孔徑散布。T圖法和MP法的缺陷是，他依然把填充于微孔中的吸附質(zhì)看成是液體，對孔徑的計算仍采用凱爾文方程，因而擴散硅壓力變送器的微孔總孔體積只要相對意義，且孔徑散布范圍不能表征真正的小微孔區(qū)域。
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