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高溫化學氣相沉積系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號PT-CVD-1700-60*300-F3

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更新時間：2023-02-18 09:16:56瀏覽次數(shù)：264次

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高真空CVD系統(tǒng)

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鄭州科佳電爐有限公司

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聯(lián)系人：陳科（經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：該高溫化學氣相沉積系統(tǒng)的工作溫度為300℃至1600℃，配備真空泵，氣體混合裝置

詳細介紹

產(chǎn)品介紹：
該高溫化學氣相沉積系統(tǒng)的工作溫度為300℃至1600℃，配備真空泵，氣體混合裝置。采用*的溫度控制系統(tǒng)，高溫精度，出色的氣體流量精度，易于操作，出色的隔熱效果和溫度均勻性。主要用于大學，科研機構和生產(chǎn)企業(yè)進行氣相沉積相關的實驗與生產(chǎn)。

技術參數(shù)：

產(chǎn)品名稱		高溫化學氣相沉積系統(tǒng)
產(chǎn)品型號		PT-CVD-1700-60*300-F3
加熱部分	顯示	LED
	溫度	1700℃
	工作溫度	≤1600℃
	升溫速率	建議: 0~15℃/min (max. 20℃/min)
	加溫溫區(qū)	300mm
	加熱元件	硅鉬棒
	熱電偶	B 型
	控溫精度	±1℃
	爐管尺寸	60 x 900mm
	爐管尺寸	剛玉管
	溫度控制	PID自動控制
	升溫速率	30段可編程
	電壓	220V, 50 Hz, 單相功率： 4KW
	工作壓力	0.02MPa
真空部分	真空泵總成（旋轉(zhuǎn)葉片泵+擴散泵）包括KF25、KF50適配器、用于真空泵組的波紋管和帶輪子的移動柜。	冷態(tài)極限真空6.67*10-3Pa。
	真空測量	復合真空計。
	真空法蘭	帶閥和針的不銹鋼真空法蘭
質(zhì)量流量計（3條氣體路線Ar、H2、CH4）	流量范圍	(20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM
	精確度	±1.5 % F.S.
	響應時間	≦10sec
	工作壓力差范圍	0.1~0.5MPa
	耐壓性	3MPa
	工作環(huán)境溫度	5~45℃
	輸入電壓信號	0 V ~ +5.00 V
	輸出電壓信號	0 V ~ +5.00 V

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