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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州科佳電爐有限公司


混氣管式PECVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1200-S6015LK1-4Z5S

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

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更新時(shí)間:2022-09-01 18:11:47瀏覽次數(shù):248次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

KJ-T1200-S6015LK1-4Z5S多路混氣管式PECVD系統(tǒng),由KJ-T1200單溫區(qū)管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)子流量計(jì)、射頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)組成

詳細(xì)介紹


  KJ-T1200-S6015LK1-4Z5S多路混氣管式PECVD系統(tǒng),由KJ-T1200單溫區(qū)管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)子流量計(jì)、射頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)組成。

  混氣管式PECVD系統(tǒng)是為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行,利用了等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng),環(huán)境溫度在100-300℃,但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化,從而大大提高了反應(yīng)物的活性,這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上,發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜,因此這種CVD稱(chēng)為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD)。

適用范圍

設(shè)備可在片狀或類(lèi)似形狀樣品表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類(lèi)金剛石等多種薄膜,并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應(yīng)用于刀具、高精模具、硬質(zhì)涂層、裝飾等領(lǐng)域。

 

 





 

產(chǎn)品特點(diǎn)

多晶纖維爐膛 多晶纖維爐膛,節(jié)能耐腐蝕

重量輕、升溫速度快、節(jié)能、省時(shí)、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好,能滿(mǎn)足何種快速燒結(jié)的要求。
高純石英爐管 爐管采用高純度石英玻璃材料工藝加工

具有極低的熱膨脹系數(shù)、耐高溫、化學(xué)穩(wěn)定性好、電絕緣性好。
雙層內(nèi)膽爐殼 雙層內(nèi)膽爐殼,配有風(fēng)冷系統(tǒng),快速升降溫

整個(gè)爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu),中間有氣隙隔離,即使?fàn)t膛溫度高達(dá)1200℃,爐體表面仍然可以安全觸摸無(wú)滾燙感覺(jué)。
真空法蘭 法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)

有效的提高了法蘭的氣氛性,法蘭上裝有多種接頭,可接電阻真空計(jì)、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈?zhǔn)健?/div>
合金電熱絲 內(nèi)嵌式合金電熱絲,升溫快,壽命長(zhǎng)

加熱元件采用優(yōu)質(zhì)內(nèi)嵌式合金電熱絲,發(fā)熱效率高、耐高溫、抗氧化、耐腐蝕、升溫快、壽命長(zhǎng)、高溫變形小、安裝維修方便,使用壽命長(zhǎng)。
微電腦PID控制器 微電腦PID控制器,操作簡(jiǎn)便

操作簡(jiǎn)便,控溫精確、可靠、安全多段可編程控制,可以簡(jiǎn)化復(fù)雜的試驗(yàn)過(guò)程,真正實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制和運(yùn)行。
爐體配有:輸出電壓和輸出電流監(jiān)測(cè)表,爐子加熱狀態(tài)一目了然。
高真空分子泵組 真空系統(tǒng)采用高真空分子泵組,

性能可靠:整體型復(fù)合轉(zhuǎn)子,強(qiáng)度高、性能穩(wěn)定;
潔凈無(wú)油:采用脂潤(rùn)滑精密陶瓷軸承,無(wú)油蒸汽污染。
 

產(chǎn)品參數(shù)

管式爐系統(tǒng)

爐管尺寸

直徑60mm

加熱區(qū)長(zhǎng)度

440mm(更多規(guī)格可按照客戶(hù)要求定制)

正常工作溫度

1100℃

工作溫度

1200℃

加熱元件摻鉬合金加熱絲
爐膛材質(zhì)采用日本進(jìn)口爐膛材料,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡,抗熱漲冷縮能力強(qiáng)

控溫方式

智能化30段可編程控制(用戶(hù)可選配液晶觸摸屏顯示)

真空系統(tǒng)
高真空分子泵組,高真空復(fù)合真空計(jì)

前級(jí)泵2升每秒,分子泵600升每秒

采用KF25系列波紋管和真空擋板閥連接

質(zhì)子流量計(jì)

高精度質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量

氣體流量范圍為0-500SCCm 誤差為0.02%

出氣真空壓力表,內(nèi)置氣體混氣系統(tǒng),

不銹鋼針閥計(jì)管道,標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭 

射頻電源系統(tǒng)

輸出功率

50-500W可調(diào)±1%

RF頻率

13.56MHz,穩(wěn)定性±0.005%

噪聲

≤55DB

冷卻

風(fēng)冷

輸入功率

1KW  AC 220V

提供相關(guān)配件

氣煉石英爐管、真空法蘭、高溫手套、坩堝鉤、熱電偶、防燙罩、剛玉坩堝、爐塞

電氣認(rèn)證CE認(rèn)證
售后服務(wù)12個(gè)月質(zhì)保、終身保修


可選配件:

 
4路質(zhì)子流量計(jì)真空系統(tǒng)射頻電源

質(zhì)子流量計(jì)×1

真空系統(tǒng)×1射頻電源×1
氣煉石英爐管真空法蘭熱電偶
氣煉石英爐管×1真空法蘭×1防燙罩×2
高溫手套坩堝鉤熱電偶
高溫手套×1坩堝鉗×1熱電偶×1
剛玉坩堝爐塞馬弗爐中文說(shuō)明書(shū)
剛玉坩堝×2爐塞×2中文說(shuō)明書(shū)×1

注:爐管、坩堝可按用戶(hù)需求選配合適的款型

可選配件:

液晶觸摸控制儀
液晶觸摸控制儀

 1.實(shí)現(xiàn)烤箱/電爐的升溫、保溫、降溫工藝過(guò)程全自動(dòng)。
 2.工藝人員可以將幾段程序編制成1條控溫曲線(xiàn),保存于觸摸屏內(nèi),帶密碼保護(hù)功能,可一次性編制多條曲線(xiàn)。
 3.具備斷電記憶功能,查詢(xún)已完成的工藝階段。
 4.現(xiàn)場(chǎng)操作人員需要調(diào)用某條溫控曲線(xiàn)時(shí),直接輸入曲線(xiàn)序列號(hào)即可調(diào)用該條曲線(xiàn),簡(jiǎn)單方便,杜絕錯(cuò)誤發(fā)生。
 5.具備多組歷史數(shù)據(jù)記錄功能。
 6.具備同時(shí)顯示多段溫度及時(shí)間功能。



全自動(dòng)智能型水冷機(jī)
水冷機(jī)

  1.制冷量達(dá)1800W,可選用環(huán)保冷媒;

  2.溫控精度可達(dá)±0.3℃;

  3.智能溫控器具有兩種溫控模式,適用于不同的使用場(chǎng)合;

  有多種設(shè)定和故障顯示功能;

  4.具有多種報(bào)警保護(hù)功能:壓縮機(jī)延時(shí)保護(hù);壓縮機(jī)過(guò)流

  保護(hù);水流報(bào)警;溫度超高/低報(bào)警;

  5.多國(guó)電源規(guī)格,CE、RoHS認(rèn)證;

  6.長(zhǎng)壽耐用,操作簡(jiǎn)便;

  7.可選配加熱器和凈化水質(zhì)配置。



 

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿(mǎn)后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶(hù)手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

 

 


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