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石墨稀、碳納米管材料CVD設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1050-CVD-LZ

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更新時(shí)間：2022-09-01 16:44:00瀏覽次數(shù)：174次

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  化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(CVD)

高真空CVD系統(tǒng)

等離子增強(qiáng)CVD系統(tǒng)(PECVD)

石墨烯、納米管生長(zhǎng)爐

低真空CVD系統(tǒng)

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鄭州科佳電爐有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：206條

所在地區(qū)：河南鄭州市

聯(lián)系人：陳科（經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹：KJ-T1050-CVD-LZ型石墨稀、碳納米管材料CVD設(shè)備由管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成，溫度可以達(dá)到1050度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：
KJ-T1050-CVD-LZ型石墨稀、碳納米管材料CVD設(shè)備由管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成，溫度可以達(dá)到1050度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，能進(jìn)行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。
軟件控制系統(tǒng)：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時(shí)可以調(diào)出。

應(yīng)用范圍：
該設(shè)備主要用于石墨稀、納米材料工藝涂層、多晶硅、碳化硅、擴(kuò)散、氧化、退火等工藝。
　　　
參數(shù)詳情：

產(chǎn)品名稱	石墨稀、碳納米管材料CVD設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)	KJ-T1050-CVD-LZ
爐型結(jié)構(gòu)	臥式、單管或多管系統(tǒng)自動(dòng)控制
適應(yīng)晶片尺寸	50--200mm
取片方式	自動(dòng)懸臂石英推拉舟，配合手動(dòng)取、放片
溫度	1050℃
極限真空度	優(yōu)于1Pa
溫度穩(wěn)定性	400℃~850℃≦+-0.5℃/24h
抽速	抽限真空時(shí)間15min左右
供電電源	380V 50Hz 三相五線
選配	冷卻水：2~4KGF/c㎡,8L/min
更多規(guī)格可根據(jù)需求定制

1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

關(guān)鍵詞：水冷系統(tǒng) 流量計(jì) 浮子流量計(jì)