平替進口氣體質(zhì)量流量計流量傳感器采用氣體流過外熱源加熱的毛細管時產(chǎn)生的溫度場變化 來測量氣體質(zhì)量流量,通過電橋?qū)囟葓龅淖兓D(zhuǎn)化為電信號并經(jīng)過電 路放大、濾波處理,處理后的信號采集進處理器芯片,再通過氣體流量 外標(biāo)法和溫壓補償?shù)玫綔?zhǔn)確的真實氣體流量值。氣體實際流量值與流量 設(shè)定值進行比較, 將差值通過智能算法去控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過 通道的流量使之與流量設(shè)定值相等,實現(xiàn)氣體流量的精準(zhǔn)控制。
產(chǎn)品特點
精準(zhǔn)質(zhì)量流量測量/控制
快速響應(yīng)、高重復(fù)性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大:0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經(jīng)濟有效的解決方案
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 0-2,10,20,50,100,300,500 sccm
0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm
測量范圍 0.5%F.S.(1:200)
控制范圍 1%-1 00% FS.(1:100)
準(zhǔn)確度 ±1% F.S.
重復(fù)精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
控制響應(yīng)時間 <3 秒
預(yù)熱時間 5 min(T95),30 分鐘
閥門 常閉式