該高溫化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的工作溫度為300℃至1600℃，配備真空泵，氣體混合裝置。采用的溫度控制系統(tǒng)，高溫精度，出色的氣體流量精度，易于操作，出色的隔熱效果和溫度均勻性。 主要用于大學(xué)，科研機(jī)構(gòu)和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)。
技術(shù)參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 | 高溫化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) | |
| 產(chǎn)品型號(hào) | PT-CVD-1700-60*300-F3 | |
| 加熱部分 | 顯示 | LED |
| 溫度 | 1700℃ | |
| 工作溫度 | ≤1600℃ | |
| 升溫速率 | 建議: 0~15℃/min (max. 20℃/min) | |
| 加溫溫區(qū) | 300mm | |
| 加熱元件 | 硅鉬棒 | |
| 熱電偶 | B 型 | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 爐管尺寸 | 60 x 900mm | |
| 剛玉管 | ||
| 溫度控制 | PID自動(dòng)控制 | |
| 升溫速率 | 30段可編程 | |
| 電壓 | 220V, 50 Hz, 單相 功率： 4KW | |
| 工作壓力 | 0.02MPa | |
| 真空部分 | 真空泵總成 （旋轉(zhuǎn)葉片泵+擴(kuò)散泵） 包括KF25、KF50適配器、用于真空泵組的波紋管和帶輪子的移動(dòng)柜。 | 冷態(tài)極限真空6.67*10-3Pa。 |
| 真空測量 | 復(fù)合真空計(jì)。 | |
| 真空法蘭 | 帶閥和針的不銹鋼真空法蘭 | |
| 質(zhì)量流量計(jì)（3條氣體路線Ar、H2、CH4） | 流量范圍 | (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM |
| 精確度 | ±1.5 % F.S. | |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≦10sec | |
| 工作壓力差范圍 | 0.1~0.5MPa | |
| 耐壓性 | 3MPa | |
| 工作環(huán)境溫度 | 5~45℃ | |
| 輸入電壓信號(hào) | 0 V ~ +5.00 V | |
| 輸出電壓信號(hào) | 0 V ~ +5.00 V | |
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