特點(diǎn):
? 性能和成本的平衡,具有性?xún)r(jià)比
? 低噪數(shù)字式輪廓傳感器
? 寬范圍無(wú)導(dǎo)頭粗糙度傳感器
? 大量程輪廓測(cè)量、微觀輪廓度測(cè)量
? 寬范圍粗糙度測(cè)量
? 高精度大量程粗糙度、高精度大量程輪廓測(cè)量的復(fù)合機(jī)型
技術(shù)參數(shù)
輪廓儀部分技術(shù)參數(shù) | 線性精度1 | ≤土(0.8+|0.12H|) μ m |
圓弧2 | ≤士(1.5+R/12) μm | |
角度3 | ≤土1' | |
直線度4 | ≤0.5μm/100mm | |
粗糙度部分技術(shù)參數(shù) | 線性精度 | ≤土(5nm+2. 8%) |
殘值噪聲5 | ≤0.005μm | |
重復(fù)性6 | 1δ≤1nm | |
截止波長(zhǎng) | 0.025、0.08、 0.25、0. 8、2. 5、8mm | |
評(píng)定長(zhǎng)度 | λcX2、3、4、5、6、7 | |
運(yùn)動(dòng)控制 | X軸驅(qū)動(dòng)方式 | 電動(dòng) |
Z軸驅(qū)動(dòng)方式 | 電動(dòng) | |
X軸驅(qū)動(dòng)速度 | 0.05~15mm/s | |
Z軸驅(qū)動(dòng)速度 | 0.2~15mm/s. |