Gasfil系列擴散器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。Gasfil擴散器結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,過濾精度達0.003μm。的濾材結構設計,在保證過濾效率的同時,也避免引起湍流,對工藝室環(huán)境造成影響,防止吹起顆粒或甚至吹起硅片。
產品特色
• 減少工藝腔體排氣時的湍流
• 適用于多種工藝氣體
• 潔凈室環(huán)境內制造、測試、包裝
• 99% 完整性測試通過
• 99% 氦氣泄露檢測通過
飛潮過濾是國內*的過濾解決方案供應商,擁有強大的研發(fā)能力、規(guī)范的生產工藝,提供客戶化的產品。 飛潮有著強大的研發(fā)設計團隊,集中了多位高級工程師,博士以及*過濾分離技術專家,致力于研發(fā)具有自主知識產權的精密過濾系統(tǒng),先后獲得國內外20多項,并于2003年通過了德國萊茵(T?V ISO9001)質量管理體系認證,2007年獲得了CE、ASME、GOST認證證書和中國壓力容器制造許可證書。 飛潮上下不斷突破自我,為諸多企業(yè)解決了多項工藝難題。其中磁性過濾系統(tǒng)FerroClean 創(chuàng)新性地改變了鐵磁性雜質粗笨的過濾方式,氣體過濾系統(tǒng)NoDust 一舉解決了易燃易爆氣體的過濾難題,集束式自動過濾系統(tǒng)SelfClear則在連續(xù)性工業(yè)生產中得到廣泛應用,持續(xù)創(chuàng)新為客戶帶來更多的價值體驗。 飛潮過濾產品廣泛應用于石油化工、精細化工、汽車工業(yè)、食品飲料、機械加工、涂料油墨、電子、電力、制藥、環(huán)保等各個工業(yè)領域,已銷往30多個國家與地區(qū),通過與中石油、中石化、BP、BASF、杜邦、Bayer、一汽大眾、廣州本田、上汽通用、可口可樂、寶鋼等眾多中外企業(yè)合作,飛潮過濾產品在業(yè)界已經成為一種共識。 飛潮在設有10余處代理機構,覆蓋美國、加拿大、德國、荷蘭、日本、韓國等國家與地區(qū)。國內服務網點多達20余處,南至香港、北至哈爾濱都有飛潮堅實的足跡。飛潮一貫秉承 “創(chuàng)新和價值”的核心理念,堅持為國內外客戶提供Z完善的售前及售后服務。
Gasfil系列擴散器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。Gasfil擴散器結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,過濾精度達0.003μm。的濾材結構設計,在保證過濾效率的同時,也避免引起湍流,對工藝室環(huán)境造成影響,防止吹起顆粒或甚至吹起硅片。
產品特色
• 減少工藝腔體排氣時的湍流
• 適用于多種工藝氣體
• 潔凈室環(huán)境內制造、測試、包裝
• 99% 完整性測試通過
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