FH413A05MEMS電容三軸加速度傳感器說明書
一、簡介
FH413A05 MEMS電容三軸加速度傳感器由我公司自行研制，用于測(cè)量加速度的傳感器。它采用低功耗、高精度、低噪聲MEMS芯片，具有 BIMOS 信號(hào)限制電路。設(shè)計(jì)考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術(shù)。具有低功耗、高可靠性和高封裝堅(jiān)固性，并具自檢測(cè)（Self-Test）等功能，可實(shí)現(xiàn)自檢測(cè)。
本產(chǎn)品可用于汽車測(cè)控、慣性導(dǎo)航、飛行器安全系統(tǒng)、地震監(jiān)控、 傾斜、速度和位置的慣性、振動(dòng)和沖擊試驗(yàn)臺(tái)加速度的測(cè)量等系統(tǒng)中。
二、原理
FH413A05三軸加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面 MEMS 多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個(gè)克 服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個(gè)獨(dú)立的固定板和一個(gè)與運(yùn)動(dòng)質(zhì)塊 相連的中板形成的差動(dòng)電容器機(jī)構(gòu)來測(cè)量比例于加速度的多硅結(jié) 構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號(hào)。
三、技術(shù)條件
性能 | FH413A性能 | |||||
Ax ，Ay ，Az | ||||||
測(cè)量范圍（ g） | ±2 | ±4 | ±5 | ± 10 | ±20 | ±40 |
靈敏度（mV/g） | 1000±50 | 500±50 | 400±30 | 200±20 | 100±10 | 50±5 |
帶寬（10%，Hz） | 0～500 | |||||
零 g 偏置電壓（V） | 2.5±0.05 | |||||
滿量程輸出（V） | 0.5-4.5 | |||||
零偏溫度變化（mg/ °C） | ±0.2~ ±0.8 | |||||
交叉軸影響（%） | ≤2 | |||||
非線性度(％F.S) | ≤0.1 | |||||
噪聲密度（ug/ √Hz） | 20~80 | |||||
供電要求 | ||||||
供電電壓(VDC) | 12±0.5 | |||||
輸入電流（mA） | ≤20 | |||||
工作環(huán)境 | ||||||
使用溫度（。C） | -45～+85 |
抗沖擊（ g） | 5000 |
重量、體積 | |
重量(g) | ≤20 |
體積（mm3 ) | 21.6×21.6×12.4 |
四、接線端子定義
引線號(hào) | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 |
顏色 | 紅 | 黑 | 藍(lán) | 黃 | 白 | 屏蔽 |
定義 | 12v | GND | Ax | Ay | Az | 殼體地 |
