V10FD-M/H中高壓型MFC/MFM
● 通用型,適用于10MPa以下各種氣體
● 響應(yīng)速度100ms,無需預(yù)熱,上電即可操作 V10FD中高壓型流量計
● 無熱漂移,長期穩(wěn)定性0.1%F.S/年
● 數(shù)模兼容,可使用二次表或計算機(jī)控制和顯示流量
● 內(nèi)置閥控指示燈/通訊指示燈/流量指示燈
● 內(nèi)置4種氣體,無比熱容附加誤差,不影響精度
V10FD-M/H采用全不銹鋼傳感器,適合于測量各種與316
不銹鋼兼容的氣體。該產(chǎn)品為模擬和數(shù)字兼容型設(shè)計:可通
過模擬型二次表或PLC進(jìn)行設(shè)定和顯示瞬時流量;也可通過
數(shù)字接口直接與計算機(jī)進(jìn)行通訊。具有通用于模擬型控制系
統(tǒng)和數(shù)字型控制系統(tǒng)的特點(diǎn)。
V10FD-M/H采用無熱漂移,無響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量流量測
量原理。多氣體多量程的設(shè)計便于用戶現(xiàn)場配置流量計:通
過撥碼開關(guān)可以現(xiàn)場選擇四種測量氣體,每種氣體有3種校
準(zhǔn)量程,六個LED指示燈可以較直觀的顯示V10FD-M/H的
各種工作狀態(tài)。如果需要對氣體流量進(jìn)行控制時,還可以加裝
電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID調(diào)節(jié)功能。
與傳統(tǒng)熱式氣體質(zhì)量流量控制器/計不同,當(dāng)使用氣體轉(zhuǎn)換系
數(shù)時,V10FD-M/H沒有附加的比熱容誤差,所以,即使測量氣體與
出廠時的標(biāo)定氣體不同,也不會影響測量精度。
產(chǎn)品應(yīng)用 0FD中高壓型控制器
真空 半導(dǎo)體 航空航天 工業(yè)制造 石油化工
冶金煤炭 環(huán)境分析 食品藥品 生物科技
V1技術(shù)參數(shù)
技術(shù)指標(biāo): V10FD-M/HC質(zhì)量流量控制器 V10FD-M/HM質(zhì)量流量計
量程范圍: 小量程:5SCCM~10SLM 中量程:10SLM~30SLM 大量程:30SLM~250SLM
測控范圍: 控制器閥控范圍50:1 流量計量程比100:1
準(zhǔn)確度: 流量:±1.5%讀數(shù)±0.2%滿量程
可選±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程
壓力:0.5%F.S 溫度:±1℃
線 性: ±0.5%F.S
重復(fù)精度: ±0.2%F.S
響應(yīng)時間: 100ms 10ms
數(shù)字量: RS232/485,MODBUS協(xié)議
模擬量: 0~5V、4~20mA、1~5V
供 電: 24V/±15V可選
工作溫度: 0~50℃
工作壓力: 工作壓差:0.03~0.5MPa 工作壓降:<0.01Mpa
耐壓: 中壓3MPa,高壓10MPa
電氣連接: DB15孔
漏 率: 1×10-9SCCSHe
溫度系數(shù): ±0.015%F.S/℃
底座材質(zhì): 316L不銹鋼
密封材料: 氟橡膠,氯丁橡膠,丁晴橡膠
接 頭: VCR1/4;swagelokφ6