agilent(原varian)擴散泵特點:
1、 大抽速、大抽氣量
2、抗輻射、抗氧化、快速循環(huán).抗爆炸.
3、高前級耐壓
4、高極限真空度
5、返油量極低
6、超常的使用壽命
4、高極限真空度
5、返油量極低
6、超常的使用壽命
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