FT-332普通方塊電阻測(cè)試儀
參照標(biāo)準(zhǔn)：
1.硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）.
2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》.
3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針?lè)ā?
4.GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針?lè)ā?
雙電組合測(cè)試方法：
利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。
| 規(guī)格型 | FT-332 |
| 1.方塊電阻范圍 | 10-4～2×105Ω/□ |
| 2.電阻率范圍 | 10-5～2×106Ω-cm
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| 測(cè)試電流范圍
| 10μA，100µA，1mA，10mA，100mA |
| 4.電流精度 | ±0.2%
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| 5.電阻精度 | ≤0.3% |
| 6.顯示讀數(shù) | 液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 |
| 7.測(cè)試方式 | 普通單電測(cè)量 |
| 8.工作電源 | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W |
| 9.誤差 | ≤4%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果） |
| 10.選購(gòu)功能 | 選購(gòu)1.pc軟件； 選購(gòu)2.方形探頭； 選購(gòu)3.直線形探頭； 選購(gòu)4.測(cè)試平臺(tái)；5.標(biāo)準(zhǔn)電阻 |
| 11.測(cè)試探頭 | 探針間距選購(gòu)：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購(gòu)：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針 |
