產(chǎn)品功能
對(duì)各種產(chǎn)品和材料的表面平面度、粗糙度、博文度、面形輪廓、共面性、長(zhǎng)度寬度、表面缺陷、研磨體積、磨損面積、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、蝕刻情況、彎曲變形情況等貌特征等進(jìn)行測(cè)量和分析。標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)的系統(tǒng)要求被測(cè)物體尺寸通常不大于150*100mm，更大的尺寸根據(jù)要求也可供貨。工作臺(tái)承載重量10Kg。
應(yīng)用范圍
* 采用共焦技術(shù)，可測(cè)量平面、曲面、球面、異性面登高坡度樣品的一維、二維、三維表面微觀(guān)形貌。
* 精密機(jī)械加工、航空航天、汽車(chē)、造紙、鋼鐵、薄膜加工、半導(dǎo)體加工、MEMS、醫(yī)療行業(yè)等。
* 機(jī)械部件的平面度、形貌特征和輪廓測(cè)量，用來(lái)確定其表面的變化情況和材料損耗；
* 電子材料表面的平面度、翹曲度和粗糙度分析；
* 薄膜的厚度及涂層的高度測(cè)量等；
* BGA焊料球的共面性，封裝是否變形以及所有焊料球是否存在的檢查和分析；
* 化學(xué)蝕刻產(chǎn)品的測(cè)量，確定蝕刻深度和面積；
* 壓花材料平面特征分析，如合成材料皮革表面形狀測(cè)量分析；
* 絲印裝置涂層厚度測(cè)量，如電子產(chǎn)品和生物等；
* 對(duì)軋制鋁膜和鋼板表面情況進(jìn)行三維分析；
* 法醫(yī)學(xué)上三維表面測(cè)量分析；
* 壓電陶瓷裝置的輪廓和表面測(cè)量；
* 牙齒的腐蝕和磨損情況分析；
* 醫(yī)學(xué)上的應(yīng)用，如人造皮膚的輪廓分析；
* 溝槽深度和截面分析；
* 激光蝕刻表面的雕刻深度；
* 各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無(wú)法檢測(cè)的表面形態(tài)測(cè)量和分析；
* 其他各種小型部件的平面度、粗糙度和輪廓測(cè)量分析。
產(chǎn)品介紹
英國(guó)Scantron Industrial Products Ltd公司生產(chǎn)的三維非接觸式表面形貌儀儀Proscan 2100配有推力直線(xiàn)電機(jī)，提高了掃描速度和運(yùn)行的平滑度，由于采用非接觸的測(cè)量方式，避免了對(duì)被測(cè)物體造成劃痕和磨損，尤其適用于各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無(wú)法檢測(cè)的表面形態(tài)測(cè)量和分析。
光學(xué)式3D表面粗糙度形貌儀Proscan 2100還配有實(shí)時(shí)機(jī)械控制軟件和Invar線(xiàn)性標(biāo)尺（熱脹冷縮系數(shù)非常低），光學(xué)傳感器最小分辨率為5nm，可掃描間隔最小步長(zhǎng)為0.1微米。
Proscan 2100以花崗巖為支架，是快速、精準(zhǔn)、非接觸式的三維表面測(cè)量?jī)x器。廣泛應(yīng)用各種表面輪廓和形貌特征的精確測(cè)量和分析。高性能非接觸式光學(xué)傳感器掃面范圍是150mm（長(zhǎng)）X100mm（寬），對(duì)被測(cè)件平面的掃描最多可達(dá)800萬(wàn)個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)。配套軟件可以對(duì)各種測(cè)量參數(shù)進(jìn)行分析。
Proscan 2100配有多種可更換式非接觸光學(xué)傳感器，粗糙度最小測(cè)量范圍0-110μm，測(cè)量范圍0-50mm。
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| 實(shí)例：渦輪葉片掃描 | Proscan2100外觀(guān) | Proscan 2100掃描頭 |
工作原理：光學(xué)色差傳感器技術(shù)
采用共焦技術(shù)，通過(guò)光纖電纜，將白光從光源發(fā)生器里傳輸?shù)絺鞲衅魃稀鞲衅黝^部配有特制的透鏡，通過(guò)色差成像，將白光轉(zhuǎn)換為其顏色分量，在被測(cè)物體表面上形成的光斑，再經(jīng)由傳感器返回到光譜分析儀。通過(guò)測(cè)量共焦點(diǎn)的波長(zhǎng)，就可精確的測(cè)量出距離的大小。這是基于透鏡不同由于的距離聚焦不同的顏色，而在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)，斑點(diǎn)的直徑保持不變的原理。
產(chǎn)品特點(diǎn)
* 花崗巖框架結(jié)構(gòu)，受熱脹冷縮影響非常小，基本沒(méi)有振動(dòng)。
* 使用線(xiàn)性電機(jī)和優(yōu)質(zhì)工作臺(tái)，電機(jī)與工作臺(tái)不相連，減少了噪聲振動(dòng)對(duì)掃描數(shù)據(jù)的影響。
* 電機(jī)質(zhì)量更輕，提高了運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)的平滑度和平靜度。
* 測(cè)量速度快，每秒可達(dá)1000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)，分辨率達(dá)5nm。
* 傳感器采用可更換式設(shè)計(jì)，方便各種粗糙高度材料的測(cè)量。
* 非接觸式測(cè)量，不對(duì)被測(cè)物體造成劃痕磨損，更加適用于對(duì)腐蝕性材料的測(cè)量。
* 掃描范圍為150*100mm，適用于對(duì)各種尺寸產(chǎn)品的輪廓測(cè)量，安裝簡(jiǎn)單。
* 矩陣式掃描方式，可對(duì)物體某個(gè)部位進(jìn)行單獨(dú)掃描，亦可對(duì)不規(guī)則形狀進(jìn)行測(cè)量。
* 功能強(qiáng)大的配套軟件，適用范圍廣，操作簡(jiǎn)單，方便對(duì)各種掃描數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。
* 使用ProForm軟件，可對(duì)材料磨損前和磨損后的輪廓差異情況進(jìn)行診斷和分析。
軟件特點(diǎn)
顯示特點(diǎn)
- 彩色三維或二維數(shù)據(jù)分析實(shí)時(shí)顯示
- 平面式（一維）視圖
- 自動(dòng)或手動(dòng)標(biāo)注刻度
- 視圖方向可隨意旋轉(zhuǎn)
矩陣式掃描
- 對(duì)單個(gè)部件進(jìn)行多行掃描
- 對(duì)安裝在夾具上的多個(gè)部件進(jìn)行自動(dòng)掃描
- 自動(dòng)生成掃描結(jié)果報(bào)告
保存、回取、導(dǎo)出和打印
- 從硬盤(pán)中調(diào)取已保存的掃描數(shù)據(jù)
- 對(duì)兩個(gè)掃描結(jié)果進(jìn)行比較，甄別出其差異
- 導(dǎo)出ASCII格式數(shù)據(jù)，ZZZZ...LF & XYZLF...CR'a'或Matlab格式數(shù)據(jù)
- 彩色三維位圖
- 通過(guò)Windows打印管理器進(jìn)行打印
評(píng)定參數(shù)
Am 輪廓算術(shù)平均值
Ra 輪廓算術(shù)平均偏差
Rz（DIN） 峰谷高低平均值
Rz（ISO） 微觀(guān)不平度十點(diǎn)高度
Rmax 輪廓高度
Rp 平均輪廓波峰高度
Rq 粗糙度均值平均方根
Rpm 峰值高度值
Rvm 谷值深度值
R3z 算術(shù)平均第三峰谷間高度
Wt 波形深度總值
Pt 輪廓深度總值
Nr 峰值計(jì)數(shù)歸一
Tpi 輪廓支撐長(zhǎng)度率
Tpa 材質(zhì)率（宏）
D 峰值密度
S 輪廓單峰平均間距
Sm 輪廓微觀(guān)不平度平均間距
數(shù)據(jù)設(shè)定
- X、Y和Z三維視圖設(shè)定
- 二維X、Y平面視圖設(shè)定
- 用戶(hù)自定義三點(diǎn)平面修正
- 自動(dòng)平面修正
- 掃面圖形可旋轉(zhuǎn)
- 共面性的計(jì)算
結(jié)果過(guò)濾
Warpage過(guò)濾器（可選）可清除表面粗糙情況，只保留輪廓。
Surface過(guò)濾器（可選）可清除表面輪廓，只保留粗糙情況。
形態(tài)測(cè)量
- 弧面的半徑計(jì)算
- 體積計(jì)算
- 表面積計(jì)算
- 截面積計(jì)算
- 臺(tái)階高度測(cè)量
- 角度計(jì)算
其他
- X、Y單獨(dú)掃描或X&Y同時(shí)掃描
- X軸掃描點(diǎn)數(shù)：30000
- Y軸掃描點(diǎn)數(shù)：30000
- X&Y軸掃描點(diǎn)數(shù)：800萬(wàn)
- X軸掃描步長(zhǎng)范圍：0.1μm-9.999mm
- Y軸掃描步長(zhǎng)范圍：0.1μm-9.999mm
Proscan 2100主顯屏幕
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| BGA球柵陣列表面掃描圖 | 機(jī)械密封平面度掃描圖 |
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| 表面粗糙度掃描圖 | 薄膜材料表面形態(tài)掃描圖 |
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| 孔端面的平面度掃描圖 | 截面二維輪廓圖 |
技術(shù)規(guī)范
X軸（長(zhǎng)）
- 掃描的長(zhǎng)度范圍150mm
- 線(xiàn)性編碼器分辨率：20nm
- 最小掃描步長(zhǎng)：0.1μm
- 掃描速度：1000點(diǎn)/秒
- 導(dǎo)軌：精密交叉式輥軸
- 線(xiàn)性度：25mm行程范圍內(nèi)0.5μm
- 定位精度：40nm
- 負(fù)載：5kg
- 線(xiàn)性電機(jī)：非接觸式驅(qū)動(dòng)
Y軸（寬）
- 掃描的寬度范圍100mm
- 線(xiàn)性編碼器分辨率：20nm
- 最小掃描步長(zhǎng)：0.1μm
- 掃描速度：1000點(diǎn)/秒
- 導(dǎo)軌：精密交叉式輥軸
- 線(xiàn)性度：25mm行程范圍內(nèi)0.5μm
- 定位精度：40nm
- 負(fù)載：4kg
- 線(xiàn)性電機(jī)：非接觸式驅(qū)動(dòng)
Z軸（高）
- 樣品高度：150mm
- 測(cè)量范圍和分辨率等參數(shù)見(jiàn)傳感器選型方案
- 根據(jù)被測(cè)物體大小，手動(dòng)定位傳感器的高度
產(chǎn)品尺寸
- 尺寸：740*542*838mm （長(zhǎng)*寬*高），重量：79kg
電源
100-110/220或240VAC，50/60Hz
傳感器選型方案
| 傳感器 型號(hào) | 測(cè)量范圍 (點(diǎn)差) | 傳感器距測(cè)量范圍中間點(diǎn)距離mm | 分辨率 | 線(xiàn)性度 （%+/-量程） | 技術(shù) 原理 |
| S3/011 | 110 μm | 3.3 | 5 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) |
| S11/03 | 300 μm | 11 | 12 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) |
| S13/1.1 | 1.1 mm | 12.7 | 25 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) |
| S16/2.5 | 2.5 mm | 16.4 | 75 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) |
| S29/10 | 10 mm | 29 | 280 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) |
| S20/20 | 20 mm | 19.6 | 600 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) |
| L25/2H | 2 mm | 25 | 0.1 μm | 0.05 | CCD三角測(cè)量技術(shù) |
| L35/10H | 10 mm | 35 | 0.5 μm | 0.03 | CCD三角測(cè)量技術(shù) |
| L50/20H | 20 mm | 50 | 1 μm | 0.03 | CCD三角測(cè)量技術(shù) |
| L70/50H | 50 mm | 70 | 2.5 μm | 0.03 | CCD三角測(cè)量技術(shù) |
各種可選項(xiàng)
* 照明與定位攝像頭，用于小型部件的定位和缺陷檢查；
* 花崗巖橫梁，用于Proscan安裝；
* 其他各種傳感器；
* 仿制材料，用于對(duì)不容易進(jìn)入的區(qū)域或?qū)Ρ砻鏈y(cè)量有困難的產(chǎn)品的表面特征復(fù)制；
* 比標(biāo)準(zhǔn)配置中的X和Y測(cè)量范圍更大的應(yīng)用平臺(tái)。
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