u采用BROS公司研發(fā)的Z軸自動(dòng)測量系統(tǒng),解決了以往工具顯微鏡Z軸測量精度不準(zhǔn)的缺陷,測量模式是通過Z軸自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)利用光學(xué)影像系統(tǒng)配備的光纖高清相機(jī),重復(fù)精度可以達(dá)到1.5UM是目前是光學(xué)測量顯微鏡Z軸測量的高精度.

uMM-300/400/工具金像顯微鏡Z軸的配備自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng),大幅度降低人員操作復(fù)雜性,讓人機(jī)工學(xué)做得高質(zhì)，是目前的工具金像顯微鏡u新型的MM-300 ,MM-400工具金像顯微鏡配備SOPTOP公司的MX無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)鏡頭,可進(jìn)行明場/暗場/偏光/DIC觀察. 或配備NIKON公司的CFI60無窮遠(yuǎn) 高解析力光學(xué)鏡頭在高倍的觀察下，可使工件的解析度增加，標(biāo)準(zhǔn)高倍率之工作距離也可至 1mm ?？蛇x擇使用不同功能之旋轉(zhuǎn)鼻輪，五孔鼻輪可用于明視野觀察，明暗視野觀察或明暗視野加DIC 可供客戶需要選擇.u?燈源采用了目前是的LED做照明光源,大限度降低因以往采用鹵素?zé)襞莅l(fā)熱而造成的熱脹誤差.

u新型的MM-300 ,MM-400工具金像顯微鏡配備集成的MM控制器接口的支架和新研發(fā)的DP-E1數(shù)據(jù)處理器或SC計(jì)數(shù)器以及基于個(gè)人計(jì)算機(jī)的BROS-MAX數(shù)據(jù)處理軟件能夠提供出色的幾何數(shù)據(jù)處理和存儲(chǔ)能力.

u新型的MM-300 ,MM-400工具金像顯微鏡配備了進(jìn)行粗調(diào)和微調(diào)的電子手輪裝置，可使儀器到半自動(dòng)化，提升量測精度，使量測的數(shù)據(jù)達(dá)到高精度標(biāo)準(zhǔn)。

u運(yùn)用范圍：精密模具測量，微電子觀察測量，TFT 液晶檢查分析測量，4寸 5寸 6寸8寸12寸 半導(dǎo)體晶圓檢查測量。