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半導(dǎo)體制造廠氣溶膠粒子計(jì)數(shù)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)是一種的技術(shù)設(shè)備，基于激光散射原理的多通道粒子計(jì)數(shù)傳感器，可準(zhǔn)確測(cè)量包含0.3μm,、0.5μm、1μm、3μm、5μm、10μm行業(yè)通用的6種粒徑。主要用于實(shí)時(shí)監(jiān)控和記錄空氣中微粒的數(shù)量、大小以及分布情況。
半導(dǎo)體制造廠氣溶膠粒子計(jì)數(shù)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)采用工業(yè)級(jí)激光器與感光部件，結(jié)合我司一代光散射顆粒物監(jiān)測(cè)技術(shù)，精心調(diào)校的光學(xué)和氣路結(jié)構(gòu)，以及全新一代高頻弱信號(hào)處理電路和高精度粒子識(shí)別算法，更準(zhǔn)確的測(cè)量各種有潔凈度要求的環(huán)境粒子濃度。該系統(tǒng)主要由五大核心部分組成，每一部分都扮演著至關(guān)重要的角色，確保整個(gè)系統(tǒng)的準(zhǔn)確運(yùn)行和高效性能。
產(chǎn)品特點(diǎn)
數(shù)據(jù)準(zhǔn)確：?jiǎn)晤w粒激光散射原理，工業(yè)級(jí)激光光源。計(jì)數(shù)效率高，重復(fù)性和 一致性好。
粒徑范圍：粒徑范圍 0.3~10μm，保證計(jì)數(shù)效率同時(shí)，單臺(tái)傳感器覆蓋六通道。
可靠性高：空氣動(dòng)力學(xué)修正, 光路和氣路自檢，對(duì)震動(dòng)不敏感，保證系統(tǒng)可靠性與穩(wěn)定性。
流量穩(wěn)定：采用主動(dòng)采樣方式，采用恒流進(jìn)氣風(fēng)扇，選配 PID 流量控制功能，
可支持穩(wěn)定、長(zhǎng)時(shí)間、高負(fù)壓、采樣；可選氣泵版，外置高性能氣泵模塊。
響應(yīng)快速：秒級(jí)數(shù)據(jù)更新。
全自動(dòng)測(cè)量：可遠(yuǎn)程控制，無線傳輸，數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)上傳至物聯(lián)網(wǎng)平臺(tái)。
電路安全：具有 ESD、過壓、過流、反接保護(hù)，確保電路的穩(wěn)定性及可靠性。
安裝便捷：安裝結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，通用性高。
安全友好：低壓供電，無電擊；無放射源，無光污染。
軟件有完整的事件記錄，包括傳感器的工作狀態(tài)、登錄用戶的所有操作和報(bào)警事件等。
系統(tǒng)設(shè)有現(xiàn)場(chǎng)聲光報(bào)警（具有現(xiàn)場(chǎng)消音功能），可支持短信報(bào)警功能，用戶可任意設(shè)定超限報(bào)警級(jí)別、預(yù)報(bào)警級(jí)別。
配置多色報(bào)警器，可在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)提供聲音或可視的報(bào)警信號(hào)，因此，報(bào)警燈應(yīng)放置在顯眼的位置， 并可將警報(bào)可以轉(zhuǎn)換成多色信號(hào)燈顯示，還可以選配短信報(bào)警器。
技術(shù)指標(biāo)
氣溶膠粒子計(jì)數(shù)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng) | |||
類別 | 序號(hào) | 產(chǎn)品名稱 | 參數(shù)規(guī)格 |
主機(jī) | 1 | 數(shù)據(jù)采集儀 | l 性能參數(shù)：NXP i.MX6UL處理器，Cortex®-A7內(nèi)核，主頻528MHz，內(nèi)置linux操作系統(tǒng)； l 多通道數(shù)據(jù)采集接口，3路232和3路485接口，支持MODBUS協(xié)議，超標(biāo)報(bào)警推送、超標(biāo)告警查詢、全天候24實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)，可集成多種傳感器探頭； l 支持遠(yuǎn)程登錄、自動(dòng)重啟遠(yuǎn)程升級(jí)、遠(yuǎn)程更新設(shè)備軟件； l 控制功能：能通過上位機(jī)控制檢測(cè)儀表設(shè)置數(shù)據(jù)采集頻率、系數(shù)校準(zhǔn)、時(shí)間同步、報(bào)警參數(shù)設(shè)置等功能； l 支持插入U(xiǎn)盤自動(dòng)升級(jí)軟件程序功能； l 具備以太網(wǎng)接口，直接通過局域網(wǎng)或internet與上位機(jī)通訊； l 具備數(shù)據(jù)超標(biāo)聯(lián)動(dòng)報(bào)警功能，可聯(lián)動(dòng)報(bào)警燈、攝像頭抓拍等； l 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：內(nèi)置大容量SD卡，可存儲(chǔ)一年以上的原始監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，并可通過有線或者無線方式顯示到LED屏幕上或者云平臺(tái)軟件； l 設(shè)備數(shù)據(jù)傳輸符合國(guó)家通信標(biāo)準(zhǔn)HJ212-2017傳輸協(xié)議； l 具備GPS定位功能，實(shí)時(shí)定位設(shè)備所處地理位置； l 斷網(wǎng)續(xù)傳功能：在設(shè)備離線的情況下，正常監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，設(shè)備恢復(fù)網(wǎng)絡(luò)后遠(yuǎn)程補(bǔ)傳； l 可擴(kuò)展性：可擴(kuò)展添加噪聲，顆粒物，含氧量檢測(cè)指標(biāo)等參數(shù)。 |
監(jiān)測(cè)參數(shù) | 2 | 粒子計(jì)數(shù)傳感器 | |
l 測(cè)量輸出：0.3~10μm 共 6 通道粒子數(shù) l 量程：4,000,000 個(gè) /ft3 l 計(jì)數(shù)效率：0.3μm/50% >0.45μm/100%（@25℃,50%RH） l 相對(duì)誤差：±15%（@25℃,50%RH） l 工作溫度范圍：-20-60℃ l 溫度范圍：0-99%RH l 工作大氣壓力：86KPa~110KPa | |||
3 | 風(fēng)速傳感器（選配） | ||
l 測(cè)量范圍：0-1m/s ；1-20 m/s l 測(cè)量精度：±0.1 m/s l 工作范圍：溫度：0-50℃，濕度：＜85%RH l 響應(yīng)時(shí)間：＜3秒 | |||
4 | 壓力傳感器（選配） | ||
l 測(cè)量范圍：默認(rèn)-120Pa~120Pa l 壓差精度:±(3%讀數(shù)±0.08Pa)@25℃ l 壓差分辨率：0.1Pa l 長(zhǎng)期穩(wěn)定性:≤0.05Pa/y l 響應(yīng)時(shí)間:1S | |||
5 | 溫濕度傳感器（選配） | ||
l 測(cè)量范圍：溫度：-40-120℃濕度：0-100%RH l 測(cè)量精度：溫度：±0.5℃濕度：±3%RH l 分辨率：溫度：0.1℃；濕度：0.1%RH | |||
監(jiān)控 云平臺(tái) | 6 | 云平臺(tái)功能 | l 查詢：此功能主要用于多臺(tái)設(shè)備進(jìn)行數(shù)據(jù)對(duì)比查詢； l 歷史查詢：歷史查詢主要用于查詢?cè)O(shè)備某天或某小時(shí)的數(shù)據(jù)曲線查詢及報(bào)表下載； l 曲線分析：曲線分析是用于分析一個(gè)時(shí)間段內(nèi)的要素變化，可以在曲線上進(jìn)行拖動(dòng)； l 站點(diǎn)管理：這個(gè)功能是用于添加或更改站點(diǎn) l 電子地圖：在線狀態(tài)，故障狀態(tài) l 實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)：實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)查詢，小時(shí)平均值，日平均值數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，最大值最小值統(tǒng)計(jì) |
