電子無(wú)塵車(chē)間:
電子無(wú)塵車(chē)間適合行業(yè)有半導(dǎo)體、微電子、電子光學(xué)制造、精密制造、液晶制造、線路板等,一般凈化級(jí)別在10萬(wàn)級(jí)。
電子無(wú)塵車(chē)間基本結(jié)構(gòu):
由EPS凈化板現(xiàn)場(chǎng)吊頂、圍墻拼裝,內(nèi)壁全部作圓弧處理,鋁型材包邊美縫,環(huán)氧自流地坪,杜絕灰塵的積聚。
電子無(wú)塵車(chē)間凈化原理:
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高校凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆?!仫L(fēng)百葉窗→初效凈化重復(fù)以上過(guò)程,即可達(dá)到凈化目的。
電子無(wú)塵車(chē)間特點(diǎn):
1、潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、無(wú)塵車(chē)間截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,另外該類(lèi)無(wú)塵車(chē)間對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。
2、電子制造廠萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)
3、電子制造廠無(wú)塵車(chē)間垂直流無(wú)塵車(chē)間滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流無(wú)塵車(chē)間不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。
4、電子制造廠無(wú)塵車(chē)間與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa
5、電子制造行業(yè)萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的值:
6、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
7、保證供給無(wú)塵車(chē)間內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。
電子無(wú)塵車(chē)間送風(fēng)量:
電子制造行業(yè)無(wú)塵車(chē)間凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風(fēng),超溫?cái)嚯姳Wo(hù),若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無(wú)水保護(hù),寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無(wú)塵室的送風(fēng)量,應(yīng)取下面三項(xiàng)值:
1、保證電子制造廠無(wú)塵室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量:
2、根據(jù)熱,濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠無(wú)塵車(chē)間的送風(fēng)量:
3、向電子制造廠無(wú)塵車(chē)間內(nèi)供給的新鮮空氣量:
電子無(wú)塵車(chē)間等級(jí)說(shuō)明:
等級(jí) | 等級(jí)說(shuō)明及車(chē)間應(yīng)用 |
10級(jí) | 這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車(chē)間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè) |
100級(jí) | 很多人認(rèn)為,這一級(jí)無(wú)塵車(chē)間是因而是最重要的無(wú)塵車(chē)間,人們常常錯(cuò)誤地將100級(jí)潔凈室稱(chēng)為無(wú)菌室,以說(shuō)明“無(wú)菌”的或“無(wú)塵”的環(huán)境要求,100級(jí)無(wú)塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等,這一潔凈室大量應(yīng)用于,植如體內(nèi)物品的制造,,包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對(duì)細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療 |
1000級(jí) | 這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車(chē)間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測(cè)試,裝配飛機(jī)蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等 |
10000級(jí) | 萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間在醫(yī)工業(yè)中也很常用 |
100000級(jí) | 十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間用于很多的工業(yè)部門(mén),比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級(jí)無(wú)塵車(chē)間 |
電子無(wú)塵車(chē)間潔凈級(jí)別表:
潔凈度級(jí)別 | 塵粒允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù) | ≥5μm塵粒數(shù) | 微生物允許數(shù)浮游菌/立方米 | 沉降菌/皿 |
100級(jí) | 3500 | 0 | 5 | 1 |
10,000級(jí) | 350000 | 2000 | 100 | 3 |
100,000級(jí) | 3500000 | 20000 | 500 | 10 |
300,000級(jí) | 60000 | 1000 | 15 |
電子無(wú)塵車(chē)間凈化參數(shù):
換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000級(jí)≥30次;
壓差:主車(chē)間對(duì)相鄰房間≥5Pa;
平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季<26℃;波動(dòng)±2℃;
濕度45-65%;GMP粉劑車(chē)間濕度在50%左右為宜;電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電;
噪聲≤65dB(A);
新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。
電子無(wú)塵車(chē)間方案一:
組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口
這是一個(gè)京哈空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段,如混合段、初效過(guò)濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過(guò)濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。
電子無(wú)塵車(chē)間方案一特點(diǎn):
建議新風(fēng)經(jīng)過(guò)集中處理后再與回風(fēng)混合,這樣就可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);這類(lèi)方案一般可以適用潔凈度較高的如百級(jí)、千級(jí)或萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等較低的凈化無(wú)塵廠房。
電子無(wú)塵車(chē)間方案二:
水冷機(jī)柜+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口
與前種方案比價(jià)破,這是相對(duì)比較簡(jiǎn)單的空調(diào)方案。他可以大大地縮小機(jī)房的面積,水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房?jī)?nèi)或凈化車(chē)間內(nèi),增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房?jī)?nèi)或吊在機(jī)房?jī)?nèi)或夾層內(nèi)。
電子無(wú)塵車(chē)間方案二特點(diǎn):
這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng)。具體根據(jù)車(chē)間的大小情況而定;這類(lèi)方案一般可以適用于潔凈度為千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等的凈化無(wú)塵廠房。
電子無(wú)塵車(chē)間方案三:
分體空調(diào)柜機(jī)+FFU送風(fēng)口
這是最簡(jiǎn)易的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車(chē)間內(nèi),并用彩鋼圍護(hù)起來(lái)。再柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開(kāi)回風(fēng)口(帶初效過(guò)濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無(wú)塵車(chē)間。
電子無(wú)塵車(chē)間技術(shù)參數(shù):
潔凈度 | 懸浮粒子允許數(shù)/立方米 | 微生物允許數(shù) | ||||
≥0.5um | ≥5um | 浮游菌 | 沉降菌 | |||
靜態(tài) | 動(dòng)態(tài) | 靜態(tài) | 動(dòng)態(tài) | cfu/立方米 | cfu/4h | |
3520 | 3520 | 20 | 20 | <1 | <1 | |
B級(jí) | 3520 | 352000 | 29 | 2900 | 10 | 5 |
C級(jí) | 352000 | 3520000 | 2900 | 29000 | 100 | 50 |
D級(jí) | 3520000 | 不作規(guī)定 | 29000 | 不作規(guī)定 | 200 | 100 |
