型號：GSL-1700X-III-F3LV
產(chǎn)品概述：GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機(jī)械泵，混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。
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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
| 爐體結(jié)構(gòu) | -
采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) -
爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，減少能量損失 -
內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長爐膛的使用壽命 -
三個溫區(qū)分別被三個獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制
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| 功率 | 10KW(需要75A的空氣開關(guān) ) |
| 電壓 | AC 380V 50 Hz |
| 加熱區(qū) | -
總加熱區(qū)長度：25" (630 mm) -
加熱溫區(qū)1長度：7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱，溫度可達(dá)1400℃ 注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結(jié)果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員聯(lián)系 -
升溫速率：10°C/min -
加熱溫區(qū)2長度：10" (250 mm)1700°C 通6根硅鉬棒加熱，溫度可達(dá)1700℃ -
升溫速率：5°C/min -
加熱溫區(qū)3長度：7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱，溫度可達(dá)1400℃ -
升溫速率：10°C/min
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| 爐管和法蘭尺寸 | -
99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube -
（標(biāo)配）( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm L -
一對60mm的不銹鋼密封法蘭，法蘭上已安裝閥門和儀表 -
儀器中包括4個氧化鋁管堵
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| 溫控系統(tǒng) |
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| 控溫精確度 | +/-1°C |
| 低真空系統(tǒng) |
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| 防腐型真空計(jì) | 其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換 |
| 三路浮子混氣系統(tǒng) |
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| 尺寸 | 高溫爐: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch) |
| 質(zhì)保期& 質(zhì)量認(rèn)證 | 一年質(zhì)保期. (不包括爐管加熱元件和密封圈 .) CE certified
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