設(shè)備優(yōu)勢(shì)
◎ 本機(jī)器采用晶圓自旋轉(zhuǎn)研磨法的原理為:如圖a 采用略大于晶圓的工件轉(zhuǎn)臺(tái)，工件通過(guò)真空吸盤夾持在工件轉(zhuǎn)臺(tái)的中心，磨輪邊緣調(diào)整到工件的中心位置，工件和砂輪繞各自的軸線回轉(zhuǎn)，進(jìn)行切入減薄。砂輪與工件的接觸長(zhǎng)度、接觸面積、切入角不變，研磨力恒定，加工狀態(tài)穩(wěn)定，可以避免工件出現(xiàn)中凸和塌邊現(xiàn)象。尤其對(duì)較薄的工件表現(xiàn)較為明顯。
◎ 研磨主軸均采用氣浮軸承結(jié)構(gòu)，定子、轉(zhuǎn)子之間由于沒(méi)有機(jī)械軸承的摩擦力，磨損程度降到了，從而確保精度始終保持穩(wěn)定。
◎ 氣浮軸承阻力較低，允許較高的速度，并能同時(shí)保持較低的振動(dòng)水平。
◎ 氣浮主軸精確的、可重復(fù)的運(yùn)動(dòng)，使得表面光度達(dá)到了非常出色的程度。由于硬度是由貫穿軸承的、始終如一的空氣流提供的，轉(zhuǎn)子所經(jīng)受的、來(lái)自外負(fù)載的作用力，在其旋轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定的分布在所有點(diǎn)上。這一特性與磨削時(shí)產(chǎn)生良好的表面光度息息相關(guān)。
性能參數(shù)
| 參數(shù)名稱 | 單位 | DL-GD3002A | |
| 晶圓尺寸 | in | ?12'' (?4''/?6''/?8''/?12'') | |
| 研磨方式 | - | 晶圓旋轉(zhuǎn)進(jìn)給磨削 | |
| 砂輪直徑 | mm | ?300金剛石砂輪 | |
| 主軸 | 額定功率 | KW | 7.5/12.9 |
| 額定轉(zhuǎn)速 | RPM | 4000 | |
| 磨削精度 | 片間厚度變化 | um | ≤±3 |
| TTV | um | ≤3 | |
| 表面粗糙度Ra | um | 0.15（#2000） | |
| 設(shè)備尺寸（W x D x H） | mm | 1150x1260x1950 | |
| 設(shè)備重量 | KG | 約1600 | |
