| | LFHS2 |
| 運(yùn)動(dòng)范圍XY（µm） | 75 |
| 分辨率XY（nm） | 0,075 |
| 典型的噪聲基準(zhǔn) XY（nm） | 0,0075 |
| 的重復(fù)性XY（nm） | 0,15 |
| 線性化（典型的） | 0,02% |
| 諧振頻率X / Y（Hz） | 3000/2000 |
| 剛度 (N/µm) | 4/3 |
| 負(fù)載（kg）-水平使用 | 1 |
| 負(fù)載（kg）-垂直使用 | 0,5 |
| 傳感器 | Silicon HR sensor |
| 尺寸W x L x H (mm) | 120,8 x 120,7 x 28,5 |
| 材料 | Al |
| 電纜長(zhǎng)度（m） | 2 |
| 推薦控制器 | High Speed |
