SMC chiller溫控器冰水機HRS090維修服務
半導體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設備。在常規(guī)PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術和自適應控制技術，并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制，顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應速度。
應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）， 實驗室精密裝置、 高精度測試儀器、醫(yī)美設備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
變頻控制，智能PID控制
預測控制及自適應控制
模塊化功能定制，高效節(jié)能
兩級閉環(huán)節(jié)能控制
SMC chiller溫控器冰水機HRS090維修服務 應用領域
激光加工、印刷設備、清潔設備、焊接設備、高分析儀、LCD制造設備、模具溫調(diào)、高頻感應加熱設備、X射線（數(shù)字式）設備等
zonglen半導體器件高低溫測試設備chiller
溫度范圍：-20°C~+90°C
控溫精度：±0.1℃
觸摸屏操作，人機交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運轉(zhuǎn)、液面降低、停電復位、防凍功能
溫度波動小
泵體、管路發(fā)生的泄露、流量小、冷卻力、加熱力的下降，溫度無法調(diào)節(jié)等，按照客戶遇到問題時提出的要求，進行維修。
1. 水泵泵體，卡住，異響，振動大
2. 冷凍機，無法制冷，管道堵塞，跳電
3. 維修熱交換器、加熱器
4.制冷劑充注，水泵維修，系統(tǒng)檢漏，改造翻新等服務
高低溫液體冷卻機Chiller
溫控精度（空載時）±0.05℃
觸摸屏操作，人機交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運轉(zhuǎn)、液面降低、停電復位、防凍功能
溫度波動小
占地面積小、保護裝置
快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運營成本和保障生產(chǎn)
運行穩(wěn)定、準確控溫
