直接驅(qū)動，無槽，無刷伺服電機

零齒槽電機，出色的速度穩(wěn)定性

出色的誤差運動和擺動性能

直聯(lián)式高精度旋轉(zhuǎn)編碼器

薄型平面設(shè)計

沒有機械接觸

Aerotech的ABRS系列旋轉(zhuǎn)氣浮載物臺以超薄的外形提供了角度定位，速度穩(wěn)定性和誤差運動性能。ABRS旨在滿足晶圓檢查，高精度計量，X射線衍射系統(tǒng)，光學(xué)檢查和制造以及MEMS /納米技術(shù)設(shè)備制造的嚴(yán)格要求。

緊湊包裝

ABRS系列直接驅(qū)動旋轉(zhuǎn)平臺的設(shè)計已經(jīng)過優(yōu)化，可大程度地減少平臺高度。平臺的低矮外形降低了系統(tǒng)的有效工作高度，從而減少了與“堆積”有關(guān)的錯誤。除了較低的總高度外，ABRS系列還提供了一個通孔，可用于產(chǎn)品直通，激光束傳輸，電纜間隙或特定應(yīng)用的要求。

機械設(shè)計

ABRS設(shè)計具有大的空氣軸承表面，具有很高的剛度和承載能力，不僅產(chǎn)生出色的軸向和徑向誤差運動，而且產(chǎn)生出色的傾斜誤差運動。所產(chǎn)生的面誤差運動明顯優(yōu)于其他旋轉(zhuǎn)式空氣軸承工作臺和主軸，極大地受益于需要出色平面性能的應(yīng)用。

無刷直驅(qū)

為了更好的定位性能，ABRS系列采用了Aerotech的S系列無槽無刷電機。電機采用磁路設(shè)計，可產(chǎn)生高扭矩輸出，而產(chǎn)生的熱量最少。無槽設(shè)計本質(zhì)上是零齒槽和無轉(zhuǎn)矩紋波。這使得ABRS位移臺非常適合需要低速或高速掃描速度的應(yīng)用。

準(zhǔn)確定位

光學(xué)編碼器是ABRS的標(biāo)準(zhǔn)配置。與Aerotech的反饋乘法器和控件配合使用時，分辨率可達到<0.03弧秒。

定制設(shè)計

定制版本的ABRS可用于費率表和慣性制導(dǎo)試驗臺應(yīng)用。