產(chǎn)品介紹
TESCAN S9000G是一種鎵FIB-SEM系統(tǒng)，旨在進行的超薄TEM樣品制備和其他具有挑戰(zhàn)性的制造任務，這些任務需要分辨率以及新的離子光學和加工能力。TESCAN S9000G采用Triglav SEM柱，具有高分辨率和優(yōu)異的性能，改進了束內(nèi)檢測系統(tǒng)，具有過濾電子信號收集功能，為新的對比度和增強的表面靈敏度打開了窗口。TESCAN S9000G配備Orage FIB柱，不僅在制造精度方面達到高標準，而且可以使用高離子束電流；從而使進行大體積樣品分析成為可能。此外，高達100nA的高離子束電流能夠以優(yōu)異的對比度對生物樣本和材料進行特定位置的大體積FIB-SEM斷層掃描。TESCAN S9000G由新的Essence軟件接口控制，該接口具有易于學習、面向應用和可定制的布局，以及具有樣品制備自動化功能的軟件模塊。所有功能都旨在輕松實現(xiàn)控制和大吞吐量。
性能特點
- 優(yōu)異的樣品制備質(zhì)量
- 大限度地制備各類樣品
- 更充分的利用離子束
- 更加優(yōu)異的成像能力
- 快速三維分析功能
- 增強的表面靈敏度、襯度
技術參數(shù)
- 產(chǎn)地：捷克
- 電子光學：
- 電子光學：配備三透鏡復合TriLens物鏡的Triglav柱
- 電子槍：高亮度肖特基發(fā)射極
- 視野：
- WD Analytical 5 mm時為4.3 mm WD 30 mm時為7.0 mm
- 電子束能量：使用BDT選項，200 eV至30 keV/降至50 eV
- 探針電流：2 pA至400 nA
- 離子光學：
- 離子柱：Orage Ga-FIB柱
- 離子槍：Ga液態(tài)金屬離子源
- 離子束能量：0.5 keV至30 keV
- 探針電流：<1 pA至100 nA
- 分辨率：30keV時＜2.5 nm（在SEM-FIB重合點）
- SEM-FIB角度：55°
產(chǎn)品應用
- 半導體器件的物理失效分析
- 生物標本的FIB-SEM斷層掃描
產(chǎn)品參數(shù)
