TESCAN S9000G是一種鎵FIB-SEM系統(tǒng),旨在進(jìn)行的超薄TEM樣品制備和其他具有挑戰(zhàn)性的制造任務(wù),這些任務(wù)需要分辨率以及新的離子光學(xué)和加工能力。TESCAN S9000G采用Triglav SEM柱,具有高分辨率和優(yōu)異的性能,改進(jìn)了束內(nèi)檢測(cè)系統(tǒng),具有過濾電子信號(hào)收集功能,為新的對(duì)比度和增強(qiáng)的表面靈敏度打開了窗口。TESCAN S9000G配備Orage FIB柱,不僅在制造精度方面達(dá)到高標(biāo)準(zhǔn),而且可以使用高離子束電流;從而使進(jìn)行大體積樣品分析成為可能。此外,高達(dá)100nA的高離子束電流能夠以優(yōu)異的對(duì)比度對(duì)生物樣本和材料進(jìn)行特定位置的大體積FIB-SEM斷層掃描。TESCAN S9000G由新的Essence軟件接口控制,該接口具有易于學(xué)習(xí)、面向應(yīng)用和可定制的布局,以及具有樣品制備自動(dòng)化功能的軟件模塊。所有功能都旨在輕松實(shí)現(xiàn)控制和大吞吐量。
- 優(yōu)異的樣品制備質(zhì)量
- 大限度地制備各類樣品
- 更充分的利用離子束
- 更加優(yōu)異的成像能力
- 快速三維分析功能
- 增強(qiáng)的表面靈敏度、襯度
- 產(chǎn)地:捷克
- 電子光學(xué):
- 電子光學(xué):配備三透鏡復(fù)合TriLens物鏡的Triglav柱
- 電子槍:高亮度肖特基發(fā)射極
- 視野:
- WD Analytical 5 mm時(shí)為4.3 mm WD 30 mm時(shí)為7.0 mm
- 電子束能量:使用BDT選項(xiàng),200 eV至30 keV/降至50 eV
- 探針電流:2 pA至400 nA
- 離子光學(xué):
- 離子柱:Orage Ga-FIB柱
- 離子槍:Ga液態(tài)金屬離子源
- 離子束能量:0.5 keV至30 keV
- 探針電流:<1 pA至100 nA
- 分辨率:30keV時(shí)<2.5 nm(在SEM-FIB重合點(diǎn))
- SEM-FIB角度:55°
- 半導(dǎo)體器件的物理失效分析
- 生物標(biāo)本的FIB-SEM斷層掃描