產(chǎn)品簡介:
EVG 320是一款自動單晶圓清洗設(shè)備,采用兆聲清洗在鍵合前對晶圓表面做清洗,提高鍵合質(zhì)量。
主要特點及參數(shù):
·可適用于12寸(300mm)晶圓
·FOUP-to-FOUP或Cassette-to-Cassette全自動運行
·采用1MHz兆聲清洗頭,有效去除>1μm的顆粒
·最多可以配置4個清洗腔室
·機(jī)器人處理確保預(yù)對準(zhǔn)精度
產(chǎn)品簡介:
EVG 320是一款自動單晶圓清洗設(shè)備,采用兆聲清洗在鍵合前對晶圓表面做清洗,提高鍵合質(zhì)量。
主要特點及參數(shù):
·可適用于12寸(300mm)晶圓
·FOUP-to-FOUP或Cassette-to-Cassette全自動運行
·采用1MHz兆聲清洗頭,有效去除>1μm的顆粒
·最多可以配置4個清洗腔室
·機(jī)器人處理確保預(yù)對準(zhǔn)精度
Copyright hbzhan.comAll Rights Reserved
環(huán)保在線 - 環(huán)保行業(yè)“互聯(lián)網(wǎng)+”服務(wù)平臺
*您想獲取產(chǎn)品的資料:
個人信息: