超小型真空探針臺(tái)，迷你型探針臺(tái)只有手機(jī)大小，手動(dòng)調(diào)節(jié)探針，底部可透光，測(cè)試光譜，
.探針臺(tái)與測(cè)試儀器配接后可用于集成電路芯片及各種晶體管芯的電參數(shù)測(cè)試及功能調(diào)試，適用于科研、新品試制及小批量生產(chǎn)的中間測(cè)試
溫度范圍: 77degK ~ 480degK
? 探針座數(shù)量: 4~6sets
? 寬敞的工作間距
? 針座精度10um
? 真空泵浦: 10^-3 torr (機(jī)械泵)/10^-6 torr(分子泵)
? 溫度控制器
? Thermo-couple @ certain position & Thermo-meter
? 50L氮?dú)馄?/span>
? 液態(tài)氮/氣態(tài)氮連接閥
組件：溫度可低至-190℃，；真空系統(tǒng)可選機(jī)械泵或分子泵系統(tǒng)，真空度可達(dá)到10-3Tor。高低溫真空探針臺(tái)應(yīng)用：可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測(cè)樣品的電學(xué)性能測(cè)試分析，如：半導(dǎo)體/微電子，電子，機(jī)電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機(jī)電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，
超小型真空探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T
| 真空腔體 | ||
| 類(lèi)型 | 高溫型室溫到350℃ | 高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃ |
| 腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 6061鋁合金 可選 | |
| 腔體內(nèi)尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
| 腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
| 腔體重量 | 不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG | |
| 腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | |
| 腔體抽氣口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） | |
| 腔體真空測(cè)量口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） | |
| 腔體進(jìn)氣口 | 6mm快擰 或 6mm快插 | |
| 腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 | |
| 腔體水冷接口 | ||
| 腔體正壓 | ≤0.05MPa | |
| 腔體真空度 | 機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） | |
| 樣品臺(tái) | ||
| 樣品臺(tái)材質(zhì) | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 | 銀銅合金 純銀塊 |
| 樣品臺(tái)尺寸 | 26x26mm | |
| 樣品臺(tái)加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱 液氮制冷 |
| 樣品臺(tái)-視窗 距離 | 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） | |
| 樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器 | PT100型熱電阻 | |
| 樣品臺(tái)溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
| 樣品臺(tái)測(cè)溫誤差 | ±0.5℃ | |
| 樣品臺(tái)升溫速率 | 高溫100℃/min 低溫7℃/min | |
| 溫控儀 | ||
| 溫度顯示 | 7寸人機(jī)界面 | |
| 溫控類(lèi)型 | 標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定 | |
| 溫度分辨率 | 0.1℃ | |
| 溫控精度 | ±0.5℃ | |
| 溫度信號(hào)輸入類(lèi)型 | PT100 （可選K S B型熱電偶） | |
| 溫控輸出 | 直流線性電源加熱 | 直流線性電源加熱+液氮流速控制器 |
| 輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口 | |
| 溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
| 溫控器重量 | 約5.6KG | |
| 探針 | ||
| 電信號(hào)接頭 | 配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長(zhǎng)1.2米 | |
| 電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | |
| 探針數(shù)量 | 4探針（可擴(kuò)展5探針） | |
| 探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選） | |
| 探針尖 | 10μm | |
| 手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái) | ||
| X軸移動(dòng)行程 | 20mm ±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)） | |
| X軸控制精度 | ≥500μm | |
| R軸移動(dòng)行程 | 120° ±60°（需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿） | |
| R軸控制精度 | ≥500μm | |
| Z軸移動(dòng)行程 | 2mm ±1mm | |
| Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿） | |
