北京中科復華科技有限公司是一家致力于為半導體領(lǐng)域和微納米科學領(lǐng)域提供綜合性解決方案，為全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供的半導體設備儀器和微納米科學儀器，擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)過硬的技術(shù)團隊。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務。未來公司將不斷和引進在微納米科學領(lǐng)域中起重要作用的新儀器和新產(chǎn)品，同時也與全國各所的大學、學院和科研院所建立了良好的合作關(guān)系，致力于把具有市場前景的科研成果推向市場。愿與中、外同仁廣泛合作， 為中國的教育與科研事業(yè)在廣范圍、高層次上提供服務。
| 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
|---|
應用方向：科研與教學
產(chǎn)品優(yōu)勢：耐氯基強腐蝕氣體，帶雙片送取樣室（Load-Lock）
產(chǎn)品配置：
★樣片數(shù)量及尺寸：1片Ф6英寸
★刻蝕材料：包括并不限于GaN、GaAs、InP、Al、Cr、單晶硅、多晶硅、SiO2、Si3N4、Ti、W、Mo、聚合物等。
★刻蝕腔體：高真空系統(tǒng)
★Load-Lock：低真空系統(tǒng) 或 高真空系統(tǒng)。雙片裝，樣品自動運送。
★刻蝕不均勻性：±3%-±6%
★刻蝕速率：0.1-4μm/min（視具體材料與工藝）
★工作臺：可升降，包含水冷
★電源配置：上電射頻，下電偏壓，包含自動匹配
★氣路數(shù)量與種類：6路氣路，其中2路耐腐蝕VCR焊接 或 用戶選配
★深硅刻蝕系統(tǒng)：可選配
★He冷背吹系統(tǒng)：可選配
★終點檢測控制：可選配質(zhì)譜儀
★操作模式：全自動+半自動控制
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