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廣電計量檢測集團(tuán)股份有限公司

HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱

參考價 89600
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2024/3/15 14:27:14
  • 訪問次數(shù)1392
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上海雋思實驗儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗機(jī)、橡塑試驗檢測設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強(qiáng)的自主開發(fā)、設(shè)計能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的*好評,更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫?zé)o氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗箱,高低溫試驗箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設(shè)備,導(dǎo)體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗機(jī),橡塑檢測試驗機(jī)等。
    不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專業(yè)服務(wù)能力,做一個專業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實施了CRM、ERP項目管理,在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財務(wù)管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程,形成了覆蓋全國的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò),以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會,以飽滿的熱情、真誠的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來!






HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫?zé)o氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺,超低溫試驗箱
材質(zhì) 不銹鋼 工作室尺寸 45mm
功率 2500 加工定制
類型 真空 適用范圍 MEMS,氮化鎵,砷化鎵,半導(dǎo)體
溫度范圍 200℃
HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱是涂膠前對硅片表面進(jìn)行處理,可以增加硅片表面水分子的接觸角,使襯底表面從親水性轉(zhuǎn)化為疏水性
HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱 產(chǎn)品信息

親水性與疏水性的基本概念

  • 親水性的表面,當(dāng)水滴落在其上時,會呈現(xiàn)出小于90度的接觸角,表明水能夠在該表面上擴(kuò)散,形成較薄的水膜。

  • 疏水性(HMDS疏水設(shè)備的表面,與之相對,當(dāng)水滴接觸到這樣的表面時,會形成大于90度的接觸角,水滴能夠在表面上保持幾乎完整的圓形,類似荷葉效應(yīng)所展現(xiàn)的那樣。

晶圓的表面特性,尤其是其對水的親和性或排斥性,雖然細(xì)微,卻對芯片的整體性能有著不可忽略的影響。無論是在涂布光刻膠的制備過程、清洗環(huán)節(jié),還是在特定薄膜制備過程中,晶圓表面是否能有效吸水或排水,都直接影響到半導(dǎo)體制造的每一個關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

對半導(dǎo)體制造過程的影響

  • 清洗過程:親水性的表面能夠確保清洗液更有效地與晶圓表面接觸,進(jìn)而更 CheDI地去除雜質(zhì);而疏水性表面則可能導(dǎo)致清洗不 ,影響后續(xù)制程的質(zhì)量。

  • 光刻過程:光刻膠需要均勻地覆蓋晶圓表面。親水性的表面有助于光刻膠的均勻鋪展,確保了光刻過程的精度和均一性;疏水性表面則可能導(dǎo)致光刻膠分布不均,影響芯片的性能。

    HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱

       HMDS烘箱涂布是涂膠前對硅片表面進(jìn)行處理,可以增加硅片表面水分子的接觸角,使硅片表面從親水性轉(zhuǎn)化為疏水性,HMDS 一般采用氣相涂布的方式。

    設(shè)備名稱:HMDS烘箱

  • 設(shè)備型號: JS-HMDS90

  •  內(nèi)腔尺寸:450×450×450(mm)可選其他數(shù)據(jù)

  •  材質(zhì):外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑、304不銹鋼,內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼

  • 溫度范圍:RT+10-200℃

  • 真空度:≤133pa(1torr)

  • 電源及總功率: AC 22±10% / 50HZ       總功率約2.5KW    

  • HMDS控制:可控制HMDS藥夜添加量

    HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱用途

  • HMDS烘箱兼容性:2~12寸晶圓及碎片、方片等

  • 適用行業(yè):MEMS、太陽能、電池片、濾波、放大、功率等器件,晶圓、玻璃、貴金屬,SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。



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